Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226368 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Präzisionsätzung und lithographischen Herstellung von Halbleiter- und verwandten Produkten. Das System nutzt eine Kombination aus Lichtbelichtung, chemischem Ätzen und Nachbelichtungsbacken, um präzise Maskenmuster mit hoher Treue zu erzeugen. Das Gerät verwendet ein 14-Schicht-Magazin des auf das Wafersubstrat aufgebrachten Immersion Type Photoresist (ITP). Photoresists sind transparente organische oder anorganische Materialien, die einer Lichtquelle zu einer chemisch aktiven Schicht ausgesetzt werden können. Bei Belichtung einer aktiven Schicht werden die belichteten Bereiche in einem Entwickler löslich, der dann selektiv entfernt werden kann. Das Ergebnis dieses Ätzprozesses ist ein Muster im Photolack, das in das gewünschte Muster übersetzt wird. TEL Mark V verfügt über eine ungewöhnlich große Belichtungskammer, kombiniert mit einer hochauflösenden Optikmaschine und hochauflösenden Betätigungsmechanismen, um eine präzise Belichtung des ITP zu ermöglichen. Diese Eigenschaften sowie eine präzise Vergrößerung und Messung mit einer 16-Bit-Auflösung für die digitale Signalverarbeitung bieten ein unübertroffenes Lithographiewerkzeug mit einer Auflösung von bis zu 0,68 Mikrometern. TOKYO ELECTRON MARK-V verfügt über mehrere Backfunktionen und -prozesse nach der Belichtung, um ein hochwertiges, hohes Treuemuster zu gewährleisten. Dazu gehören ein Nachbacken und ein mehrstufiges Nachbacken mit der zusätzlichen Fähigkeit, die Freisetzung von Chemikalien und Luftreinheit in der Umwelt zur maximalen Kontrolle zu kontrollieren. Auch für MARK-V steht ein hochauflösendes Messmodul zur Verfügung, das aus den Belichtungskammerdaten erwartete Chipgröße und Wellenlänge vorhersagt. Die Anlage kann mit einem Messgerät integriert werden, um hochpräzise Messungen der fertigen Chipgröße und -daten zu erhalten. Das Photolackmodell von Mark V bietet dem Anwender eine optimale Musterqualität bei maximaler Effizienz und Kosteneinsparung. Das erfindungsgemäße Design, die präzisen Ätzfähigkeiten und die hohe Treue des TOKYO ELECTRON Mark V machen es zu einer idealen Wahl für fortschrittliche Lithographieanwendungen.