Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226370 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9226370
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Track system, 6" 1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine überlegene Photoresist und Track-Ausrüstung, die überlegene Prozesssteuerung und Leistung bietet. Es ist für hochproduktive Ätz- und Entwicklungsprozesse konzipiert, mit einer Reihe von Merkmalen und Komponenten, die eine hohe Betriebsgenauigkeit ermöglichen. Darüber hinaus sorgt TEL Mark V dafür, dass Replikationsmuster in übertragenen und entwickelten Photoresists genau und effizient durchgeführt werden. Das System ist mit einer integrierten Prozesssteuerung ausgestattet, die eine automatische Überwachung von Schlüsselätzparametern ermöglicht. Dazu gehört die Überwachung, Autokalibrierung und präzise Steuerung der Ätzrate des verwendeten Photolackmaterials. Darüber hinaus kann diese Einheit schnell eine gleichmäßige Schichtdicke über einen Bereich von Punkten aufbringen, um sicherzustellen, dass die Ätzung auf optimalem Niveau ist. TOKYO ELECTRON MARK-V ist in der Lage, ein- und mehrschichtige Photolackverarbeitung mit langen Prozesszeiten durchzuführen. Dies kann Zeit und Kosten erheblich sparen und vermeidet Prozesskontrolle und Produktionsverzögerungen. Die Systeme sind auch in der Lage, wiederholbare kontrastreiche Entwicklung, sowie hochpräzise mehrschichtige Photolithographie. Darüber hinaus kann die Maschine sehr kleine Muster ohne edgeprint oder überlappend entwickeln. Mark V enthält eine Trockenätzeinheit, so dass das Ätzen ohne die Notwendigkeit von nassen Chemikalien durchgeführt werden kann. Dies beschleunigt die Bearbeitungszeit des Photolacks und ist dann mit herkömmlichen Ätzmethoden effizienter. Das Tool beinhaltet auch eine automatisierte Inspektion und Bildverarbeitung, um sicherzustellen, dass das geätzte Bild genau so ist, wie es beabsichtigt war. Darüber hinaus kann es schnell reinigen und Photolack und Trackmaterial zurückgewinnen, um eine Verschiebung während des Ätzvorgangs zu verhindern. Abschließend ist TEL MARK-V ein äußerst vorteilhaftes Photolack- und Gleismodell, das präzise Prozesssteuerung und wiederholbare Genauigkeit bietet. Seine Fähigkeit, präzise Ätz- und Entwicklungsprozesse präzise und effizient durchzuführen, ist ideal für produktionsstarke Anwendungen. Darüber hinaus bietet das Gerät fortschrittliche Funktionen wie automatisierte Inspektion, Bildverarbeitung und Trockenätzung, um den Lithographieprozess weiter zu optimieren.
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