Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226372 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine Photoresist-Ausrüstung zur optimalen Abbildung dünner Filmschichten über große Waferflächen mit einer Auflösung von bis zu 100 nm. Es verwendet eine chromatische Aberration korrigierte Linse, um eine sehr hohe Auflösung und eine hohe Dosis an Exposition mit einer kurzen Belichtungszeit zu erhalten. Das TEL Mark V-System wird von einer gepulsten Laserquelle angetrieben, die einen Excimerlaser als Lichtquelle verwendet. Diese Einheit ist in der Lage, hochdosierte Exposition mit einer Zeitauflösung von 0,23 Millisekunden zu liefern. Die Laserquelle ist technisch stabil bei ausgezeichneter Gleichmäßigkeit der Dosis über den gesamten Wafer. TOKYO ELECTRON MARK-V Maschine ist mit 'Over-the-air' (OTA) Messungen der Belichtungsdosis und Tiefe Gleichmäßigkeit ausgestattet. Dies ermöglicht eine hochpräzise Kontrolle der Qualität der Fotolackbilder. Das Tool kann helfen, den Photolithographie-Prozess mit seiner intuitiven und einfach zu bedienenden Software zu rationalisieren. Es bietet Zugriff auf alle Parameter, die für erfolgreiche Photolithographie-Prozesse benötigt werden. Es ermöglicht auch eine effiziente Rezept- und Parameterkontrolle, Fehlervermeidung und In-situ-Prozesssteuerung. Die Anlage verfügt über ausgezeichnete Stabilität und geringe Wartungsanforderungen, was eine erhöhte Produktivität ermöglicht. Es ermöglicht eine präzise Registrierung, eine hochgenaue Ausrichtung und ein Feedback zur Ausrichtung. Es unterstützt auch die Stufen und Lasten bis zu 200mm Wafer in einer Position OTA. Das MARK-V Photoresist-Modell ist ein zuverlässiges Werkzeug für die Verfahrenstechnik und trägt zur Senkung der Herstellungskosten bei, indem es die Leistung mehrerer Photoresst-Schichten auf größeren Flächen des Substrats ermöglicht. Diese Ausrüstung eignet sich für die Herstellung von Präzisionsgeräten und kleinen musterkritischen Geräten.