Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226375 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9226375
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Track system, 6" 1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipment ist ein Lithographiewerkzeug zur präzisen und gleichmäßigen Ätzung von Photolack auf Siliziumscheiben. Dieses System ist das Ergebnis langjähriger Entwicklung und Innovation des Photolackabscheidungs- und Ätzprozesses. Es ist als zuverlässiges und effizientes Werkzeug für die Herstellung integrierter Schaltungen auf extrem unterirdischen Substraten konzipiert. TEL Mark V wird von Halbleiterherstellern zum Abscheiden und Ätzen von Photolackschichten auf einer Substratoberfläche verwendet, bevor der Herstellungsprozess beginnen kann. Dieses als Photolithographie bezeichnete Verfahren ist zur präzisen und genauen Übertragung von Schaltungsmustern auf den Siliziumwafer notwendig. Die fortschrittliche Technologie von TOKYO ELECTRON MARK-V ist mit 2D-Auflösungskontrolle, stabiler Gleichmäßigkeit, Sauberkeit und Wahl von Hochleistungs-wässrigen und trockenen Entwicklern ausgestattet. Alle Werkzeuge sind auf Substrate bis 300 mm Durchmesser ausgelegt und bieten optimale Ergebnisse mit einer Planungsflexibilität von bis zu vier Tanks. Mark V verfügt über eine Doppelkammer oder ein Doppelschrank-Design, das höhere Sauberkeit bietet als Standard-Photolithographie-Tools. Die Reinkammer ist mit einer Isolationsschicht ausgestattet, die die Atmosphäre abdichtet und nahezu alle Umweltverschmutzungen beseitigt. MARK-V verwendet auch eine spezielle Software, die entwickelt wurde, um komplexe Bildmuster mit voller Konsistenz und Genauigkeit zu erstellen. Das Gerät ist in der Lage, eine breite Palette von Photolackmaterialien zu verarbeiten, einschließlich Spin-on und Sprühbeschichtung. TEL MARK-V wurde optimiert, um die Partikelverschmutzung zu reduzieren und die Gleichmäßigkeit der Resistfilmdicken im Bereich von 1 μ m bis 2 μ m zu verbessern. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V bietet eine beeindruckende Liste von Leistungsvorteilen. Es ist in der Lage, präzise Resistfoliendickensteuerung, hochauflösende Musterung, schnelle Prozesszeit, Sauberkeitsniveaus von 99,5%. Eindämmung und geringe Partikelemission sowie ausgezeichnete Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus bietet die Maschine flexible zweifarbige Benetzung und verwendet verschiedene Automatisierungstechniken, so dass sie einfach konfiguriert, programmiert und bedient werden kann. TOKYO ELECTRON Mark V ist ein äußerst robustes und zuverlässiges Werkzeug, das durch umfassende Serviceprogramme seines Herstellers unterstützt wird.
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