Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226376 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9226376
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Track system, 6" 1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine photoresist Single-Wafer-Fertigungsanlage, die entwickelt wurde, um hochpräzise und einheitliche Merkmale in Halbleiterbauelementen zu erzeugen. Das System arbeitet, indem eine Waferoberfläche einem Lichtmuster einer speziellen Lichtquelle, wie einem Laser, ausgesetzt wird. Dieses Lichtmuster erzeugt ein latentes Bild in der Photolackschicht des Wafers, das dann zur Erzeugung von Mikrostrukturen während der Lithographie verwendet wird. TEL Mark V-Einheit bietet verbesserte Waferausbeute und Verarbeitungsqualität durch eine präzise Kontrolle des Belichtungsprozesses. Dies beinhaltet eine erweiterte Lichtintensitätssteuerung und Bewegungssteuerung, so dass der Benutzer die Belichtungsintensität der Lichtquelle entsprechend den Konstruktionsspezifikationen genau anpassen kann. TOKYO ELECTRON MARK-V Maschine ist mit einem präzisen optischen Werkzeug ausgestattet, das Hochleistungs-Brechungslinsen enthält. Diese Linsen bieten eine gleichmäßige Lichtverteilung über den gesamten Wafer und ermöglichen eine präzise Lichtbelichtungssteuerung, wodurch jegliche Schwankungen der Belichtungspegel eliminiert werden. Dadurch wird sichergestellt, dass die Belichtungspegel über den gesamten Wafer gleichmäßig gehalten werden, was zu einheitlichen Mikrostrukturen ohne Leistungsschwankungen führt. TOKYO ELECTRON Mark V verfügt über ein empfindliches Temperaturregelungsmodell, das während des gesamten Belichtungsprozesses eine stabile Temperatur aufrechterhält und eine gleichbleibende Photoresistqualität gewährleistet. Das Gerät bietet auch ein automatisches Wafer-Registrierungssystem, das eine präzise Wafer-Positionierung ermöglicht, wodurch jegliche Offset- oder Fehlausrichtung während des Lithographieprozesses vermieden wird. Darüber hinaus unterstützt Mark V eine Vielzahl verschiedener Photolackmessungen und bietet eine breite Palette von Bedingungen für die Prüfung der Qualität des Photolacks. Dies ermöglicht eine genaue Echtzeit-Überwachung des Photoresist, so dass Benutzer alle notwendigen Anpassungen am Belichtungsprozess vornehmen können, um das gewünschte Ergebnis zu gewährleisten. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON MARK-V eine hochentwickelte und zuverlässige Photoresist-Einheit, die konsistent hochwertige Mikrostrukturen in Halbleiterbauelementen herstellt. Die präzisen optischen, Temperatur- und Registrierungssysteme der Maschine bieten Anwendern eine hohe Präzision und Kontrolle über den Belichtungsprozess und sorgen für wiederholbare Ergebnisse, die frei von Leistungsschwankungen sind.
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