Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226377 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9226377
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Track system, 6" 1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Nanofabrikation und Geräteherstellung. Das System basiert auf einer ausgeklügelten Abtastkonfiguration, bei der ein einziger Laser verwendet wird, um eine Reihe von Mustern auf verschiedene Substrate zu übertragen. Der Laserstrahl wird durch Linsen, dichroitische Spiegel und andere Elemente gerichtet, die ein großflächiges Schreiben und Ätzen von Mustern mit Sub-100 nm Auflösung ermöglichen. Die ausgeklügelte Scaneinheit und präzise kalibrierte In-situ-Kompensatoren ermöglichen schnelle Musterübertragungszeiten und hohe Präzision. TEL Mark V Photoresist Maschine ist mit erweiterten Steuerungsfunktionen ausgestattet, um ultrahochauflösende Musterung zur Verfügung zu stellen. Sein schnelles, genaues optisches Werkzeug mit Bildstabilisierungstechnologie arbeitet mit einem fortschrittlichen Mikroprozessorregler zusammen, um den Schrittmotor für die Strahlposition direkt anzutreiben. Diese Steuerung bietet eine verbesserte Geschwindigkeit und Genauigkeit gegenüber herkömmlichen Systemen. TOKYO ELECTRON MARK-V Asset bietet ausgezeichnete Filmselektivität, bietet hohe Vergrößerung und überlegene Bildqualität für Submikron-Feature-Auflösung. Das optische Modell bietet auch bei anspruchsvollsten Ätzprozessen eine hohe Auflösung. Seine variable Strahlgröße und Leistung ermöglichen eine anspruchsvolle Kontrolle der Belichtungs- und Ätzzeiten, wodurch komplexe Strukturen geschaffen werden können. TOKYO ELECTRON Mark V enthält auch wichtige erweiterte Funktionen für die gesamte Gerätesteuerung. Die offene Architektur unterstützt die Integration in bestehende Systeme und bietet eine flexible Steuerung aller Prozessparameter. Das System enthält integrierte Software-Tools zur Simulation von Ätzmustern. Es hat auch die Fähigkeit, die Belichtung basierend auf Änderungen der Abtastrate oder der Substratoberfläche automatisch anzupassen. TEL MARK-V ist mit integrierten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, einschließlich einer geschlossenen Scankammer, Schutzfolie und Stickstoffreinigungssystemen. Seine automatisierte, einfach zu bedienende Bedienung macht es auch für den Einsatz in kostengünstigen Forschungs- und Entwicklungseinstellungen geeignet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen bietet Mark V die Flexibilität und Genauigkeit, die für die Herstellung hochauflösender Nanoskala-Funktionen erforderlich sind.
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