Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9234099 zu verkaufen
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ID: 9234099
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
Track system, 6"
Direction flow: Left to right
Indexer:
(3) Cassette stages (Uni-cassette)
Laser diode mapping sensor
Configuration: Main body
Main controller: FC-9801X
C/S Robot type: Steel blade
Main robot type: (2) Pincette arms
Chemical purge
Developer:
Nozzle type: E2 Nozzle
Rinse nozzle
Facility drain
No Chemical cabinet
No THC
Missing parts:
Temperature controller
Monitor
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine von TEL Ltd. entwickelte Photoresist-Ausrüstung. Dieses System wurde entwickelt, um Halbleiterherstellern verbesserte Lithographieverfahren anzubieten. Es verwendet eine Schritt- und Scanner-Kombinationsachse, die hilft, ein Schaltungsmuster genau und zuverlässig auf ein großflächiges Substrat zu übertragen. TEL Mark V ist mit einer integrierten digitalen Signalverarbeitungsumgebung (DSP) ausgestattet, die die Steuerung von Prozessen vereinfacht, den manuellen Eingriff reduziert und die Rezepturentwicklung vereinfacht. Es hat auch eine LEAP-Halbleiterinspektionseinheit, die hochauflösende Bildgebung mit mehreren Wellenlängen von Licht für Testzwecke zur Verfügung stellt. Die LEAP-Maschine kann auch In-Die-Prozesseigenschaften messen und bei Bedarf Korrekturmaßnahmen ergreifen. Ferner umfasst das Werkzeug ein Oberflächenspannungsmodul und eine ultradünne Deckschicht. Dies ermöglicht die Bildung einer superglatten Oberfläche, die Störungen beseitigt, die durch Oberflächenvariation verursacht werden könnten. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Abscheidung und verhindert die Bildung subtiler Gräben und Grate, die zu Verzerrungen im Transferprozess führen können. Darüber hinaus ist es mit einem maskenlosen Lithographie-Asset ausgestattet, das UV-Belichtung mit mehreren Laserabdeckungen aufweist. Dies ermöglicht einen schnelleren und präziseren Belichtungsprozess mit minimalen Linienbreitenvariationen. Es hat auch einen Hochleistungslaser, der Linienverlust reduziert und die Overlay-Präzision erhöht. Insgesamt bietet das TOKYO ELECTRON MARK-V Modell ein zuverlässiges und ausgefeiltes Lithographieverfahren für fortschrittliche Anforderungen an die Halbleiterherstellung. Es ist für einfache Bedienung konzipiert, mit einer intuitiven Benutzeroberfläche sowie seiner hohen Präzision und der variablen Überlappung verschiedener Prozessparameter macht es zu einem der vielseitigsten verfügbaren Systeme.
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