Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250080 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die für eine Vielzahl von Mikrofabrikationsanwendungen verwendet wird. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das in vielen Arten von Prozessen verwendet wird, einschließlich der Herstellung von Halbleiterbauelementen, mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) und der Produktion von Flachbildschirmen (FPD). TEL Mark V erleichtert die präzise Beschichtung und Strukturierung der Photolackmaterialien. Dieses System besteht aus einer CT17 Serie Beschichtungskammer, einer erweiterten Mustereinheit und einer Reihe von Peripheriegeräten. Die CT17 Serie verfügt über hochpräzise Hochgeschwindigkeitsbeläge mit einer maximalen Gleichmäßigkeit von ± 0,2%. Diese Beschichtungskammer kann für verschiedene Arten von Photolackmaterialien verwendet werden, einschließlich Trockenfilmfotoresist, Lösungen und Schmiermittel. Es hat auch einen integrierten rezirkulierenden Luftvorhang, der hilft, ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit und längere Belichtungszeiten zu erreichen, so dass es ideal für fortschrittliche photolithographische Anwendungen ist. Die fortschrittliche Mustermaschine auf TOKYO ELECTRON MARK-V verfügt über zwei separate Bestrahlungsgeräte mit jeweils einer maximalen Belichtungsleistung von 10x. Dies ermöglicht eine größere Bandbreite an Belichtungswinkeln und höheren Seitenverhältnissen, die für moderne Mikrofabrikationsverfahren unerlässlich sind. Das Strukturierwerkzeug verfügt außerdem über ein integriertes Ausrichtungselement, um eine präzise Platzierung und Ausrichtung des Fotolacks auf dem Substrat sicherzustellen. Peripheriegeräte für TOKYO ELECTRON Mark V umfassen einen Ultraschallreiniger, einen Hotplate-Spin-Prozessor und einen Belichtungsspur-Controller. Mit dem Ultraschallreiniger werden photoresistbeschichtete Substrate vor dem Ätzen oder Belichten gereinigt. Der Spin-Prozessor der Kochplatte ermöglicht eine exakt gesteuerte Erwärmung des Substrats, was für eine gleichmäßige Beschichtung des Photolacks wesentlich ist. Der Belichtungsspurregler bietet schritt- oder servogetriebene Belichtungsprozesse, die präzise Bewegungen und maximalen Durchsatz gewährleisten. Abschließend bietet TEL MARK-V ein zuverlässiges und effektives Photolackmodell für Mikrofabrikationsanwendungen. Aufgrund seiner hochpräzisen und schnellen Abdeckung und der präzisen Strukturierung eignet sich dieses Gerät für eine breite Palette von photolithographischen Prozessen. In Kombination mit der Bandbreite an Peripheriegeräten bietet Mark V eine kostengünstige und effiziente Lösung für eine Vielzahl von Mikrofabrikationsprozessen.