Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9290142 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9290142
Scrubber / Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist ist ein leistungsfähiges, hochgenaues Waferbearbeitungswerkzeug, das für die Halbleiterherstellung und verwandte Verarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Es verfügt über ein einzigartiges Automobil-Design, das es sehr zuverlässig und robust macht. TEL Mark V ist bekannt für seine präzise Steuerung sowohl der Temperatur als auch der Abscheidungsparameter der Photolackbeschichtung und ermöglicht eine reibungslose Abscheidung mit gleichbleibenden, qualitativ hochwertigen Ergebnissen. TOKYO ELECTRON MARK-V kann für verschiedene Verfahren wie Spin-on-Glass-Beschichtung, Lithographie und Ätzverfahren verwendet werden. Das System besteht aus mehreren Komponenten: einem Nassätzmodul, einer Dosiereinheit, einer Fotolackquelle, einer elektrischen Kontakteinheit, einer thermischen Station und einer Steuereinheit. Das Naßätzmodul weist eine Prozesskammer auf, die mit einem dualmodulierenden Wafergehäuse ausgestattet ist, sowie ein beheiztes Wasserbad zum Vorätzen von Wafern. Dies gewährleistet ein gleichmäßiges Nassätzen und eine hervorragende Temperaturregelung. Die Dosiereinheit versorgt die Photolackquelle mit der richtigen Materialmenge, was präzise und konsistente Waferbeschichtungen ermöglicht. Die Photolackquelle ist eine Vakuumeinheit, die eine schnelle, präzise und gleichmäßige Abscheidung von Photolack auf den Wafern erzeugen kann. Die elektrische Kontakteinheit ist dafür verantwortlich, elektrische Verbindungen von den Werkzeugen außerhalb der Prozesskammer zu ermöglichen, so dass sie jederzeit auf eine genaue Prozesssteuerung überwacht werden kann. Die thermische Station regelt die Temperatur der Prozesskammer und sorgt für präzise und wiederholbare Ergebnisse. Schließlich ermöglicht die Steuereinheit eine vollständige Prozessautomatisierung, die es den Benutzern ermöglicht, den Prozess von der Steuereinheit aus zu beobachten und zu steuern. MARK-V ist eine fortschrittliche Maschine, die eine schnelle und effiziente Waferbearbeitung ermöglicht. Es wurde entwickelt, um zuverlässig und konsistent zu arbeiten und bietet eine hervorragende Auflösung, Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Ergebnisse. Dies macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für jede Organisation, die nach einem zuverlässigen und effizienten Fotolackwerkzeug für ihre Bearbeitungsanforderungen sucht.
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