Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9396047 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark V ist eine Photoresist-Ausrüstung für hohe Produktivität und überlegene Prozesssteuerung. Es bietet eine breite Palette von Funktionen und ermöglicht gleichzeitig einen schnellen, effizienten und präzisen Betrieb. Das System verwendet eine spektralselektive Abbildungstechnik, um hochauflösende Bilder mit einer hohen Dichte von Musterelementen in einer einzigen Belichtung bereitzustellen. Die Einheit besteht aus einer Resistbelichtungsmaschine, einem Resist-Bearbeitungswerkzeug, einem Wafer-Übertragungsgut und einem Wafer-Stufenabschnitt. Das Resistbelichtungsmodell umfasst eine abnehmbare digitale Bildgebungsplatte, eine mehrkanalige Belichtungsquelle, eine Verschlussausrüstung und ein ausgeklügeltes Kontrollsystem. Die Resistverarbeitungseinheit bietet hochauflösende Entwicklung und erweiterte ultraviolette Bildgebungsfunktionen. Die Wafer-Transfermaschine ermöglicht den schnellen Transfer von Wafern von einer Station zur nächsten. Der Wafer-Stufenabschnitt ist mit einer Präzisionsstufe ausgestattet, um eine genaue und wiederholbare Platzierung des Wafers während des gesamten Bearbeitungszyklus zu gewährleisten. TEL Mark V bietet überlegene Bildauflösung und Flexibilität der Belichtungsquelle sowie erweiterte Ausrichtungsfunktionen mit einer Vielzahl von Wafertypen. Das Tool verfügt über eine automatisierte Waferausrichtung, die manuelle manuelle Ausrichtung eliminiert und eine präzise Registrierung für Belichtungsmasken gewährleistet. Das Asset verfügt auch über eine Reihe verschiedener Expositionsquellen, darunter Laser- und optische Quellen. Darüber hinaus verfügt das Modell über erweiterte Steuerungsfunktionen, die eine effiziente Herstellung einer breiten Palette von integrierten Halbleiterschaltungen ermöglichen. Zusätzlich zu seinen hochpräzisen Funktionen verfügt das Gerät auch über eine ausgeklügelte Fehlererkennung, die Fehler oder Unregelmäßigkeiten erkennen und diagnostizieren kann, die die Verarbeitungsleistung beeinträchtigen können. TOKYO ELECTRON MARK-V ist auch mit einem Datenerfassungssystem ausgestattet, das Temperaturen, Drücke und andere Daten zur Qualitätskontrolle und -analyse überwacht und speichert. Das Gerät kann auch mit einer Vielzahl von peripheren Geräten, wie Mustergeneratoren und Handhabungssystemen, verbunden werden. Insgesamt bietet Mark V hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit bei der Herstellung komplexer Halbleiter- und Photolackprodukte. Durch die Nutzung seiner fortschrittlichen Bildgebungs- und Steuerungsfunktionen ermöglicht die Maschine eine überlegene Prozesssteuerung und liefert hervorragende Ergebnisse mit hohen Produktionseffizienzen. Das Tool wurde entwickelt, um sicherzustellen, dass alle Teile des Photoresist-Prozesses genau und effizient gehandhabt werden, was die Zeit und Kosten im Zusammenhang mit der Herstellung und dem Design von Chips erheblich reduziert.
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