Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643487 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8
ID: 293643487
Weinlese: 1992
Coater / Developer system 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 Photoresist ist ein modernes Lithographiesystem von TEL. Diese Einheit ist für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen auf Siliziumscheiben konzipiert und hergestellt. Die Maschine nutzt eine proprietäre automatisierte Prozesssteuerungssoftware, die Anwendern eine Vielzahl von Funktionen sowie eine enge Überwachung von Prozessparametern bietet. Dies wird durch integrierte Datenlogger unterstützt, auf die remote zugegriffen werden kann. So können Anwender die Qualität überprüfen und die Prozesskonsistenz von Wafer zu Wafer sicherstellen. Das Tool nutzt eine hochmoderne 200-mm-Kamera und bietet ein großes Bildfeld von bis zu 16 Zoll. Diese Kamera macht extrem hochauflösende Fotos von jedem belichteten Wafer zur detaillierten Überprüfung der belichteten Bereiche. Das Modell umfasst auch eine integrierte Lasermesseinrichtung, die Messungen vor, während und nach dem lithographischen Prozess durchführen kann. TEL Mark V8 unterstützt eine Reihe verschiedener Photoresist-Materialien, darunter DUV-Photoresists, I-Line-Photoresists und 248 nm tiefe Ultraviolett (DUV) -Photoresists. Diese Materialien werden mit einem hochgenauen automatisierten Dosiersystem auf die Wafer aufgebracht. Nach dem Aufbringen des gewünschten Materials kann die Einheit so konfiguriert werden, dass sie eine Vielzahl verschiedener Lithographieverfahren durchführt, darunter Kontakt- und Projektionsdruck, weiches und hartes Backen und Nachbelichtungsbacken. Darüber hinaus ist die Maschine so konzipiert, dass sie eine ausgezeichnete Luftumgebung steuert, die Partikelverunreinigung verringert und eine ultralauge Vibrationsumgebung bietet. Dies wird mit einem High-End-Luftfilterwerkzeug und einer erweiterten Vakuumsteuerung erreicht. Dieses Modell erfordert eine gut ausgestattete Einrichtung und sachkundiges Personal, um ordnungsgemäß zu arbeiten, aber es wurde entwickelt, um Zeit und Arbeit durch Automatisierung von Routinefunktionen zu reduzieren. Das Gerät kann bis zu 200 Wafer pro Stunde verarbeiten und ermöglicht so volumenstarke Anwendungen. TOKYO ELECTRON Mark V8 ist ein leistungsfähiges und vielseitiges Photoresist-System, das Funktionen und Funktionen bietet, die für die Serienproduktion von Leiterplatten und mikroelektronischen Komponenten erforderlich sind.
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