Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643489 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Herstellungsprozesse. Sie ermöglicht es dem Anwender, einen Photolack direkt auf einen Wafer oder Substrat abzuscheiden und so eine gleichmäßige, hochleistungsfähige Beschichtung zu gewährleisten. Diese Gleichmäßigkeit erhöht die Abdeckung von Photolack während der Verarbeitung und erhöht die Ausbeute. Das Photoresist-System verwendet TEL-proprietäre Technologien, um eine ultra-niedrige Modulation und eine einheitliche Photoresist-Beschichtung zu erzeugen. TEL Mark V8 Modelle verfügen über TOKYO ELECTRON-präzise Ätzprofile, die eine präzise Steuerung der hinterschnittenen Tiefe ermöglichen. Diese Ätzprofiltechnologie ist ideal für Anwendungen, die ultraglatte Oberflächen erfordern, einschließlich MEMS- und ULSI-Technologien. Die Einheit kann die Dicke der auf dem Wafer oder Substrat abgeschiedenen Photolackschicht effektiv steuern. Dieses Merkmal eignet sich insbesondere für Lithographieverfahren mit hohem Seitenverhältnis, die eine gleichmäßige, dünne Photoresistbeschichtung erfordern. Die Photoresist-Dicke wird mit einer einzigartigen In-situ-Messmaschine gemessen, um sicherzustellen, dass der abgeschiedene Photoresist über den gesamten Wafer konsistent ist. TOKYO ELECTRON Mark V8 Werkzeug kommt mit einer Vielzahl von Funktionen, um Ihre Lithographie Prozesse effizienter zu machen. Es ist für hohen Durchsatz und Vielseitigkeit konzipiert, mit einer Vielzahl von Optionen für Hausplatten- und Wafergrößen, die maximale Flexibilität in Lithographieanwendungen ermöglichen. Darüber hinaus unterstützt das Asset eine breite Palette von Photoresist-Typen, so dass Benutzer den am besten geeigneten Resist für ihre Anwendung auswählen können. Mark V8 Modell bietet Prozesssteuerung mit optimiertem Rezeptdesign, so dass Benutzer Rezeptsätze entwickeln können, die auf ihre spezifischen Bedürfnisse zugeschnitten sind. Es umfasst auch eine Reihe von eingebauten Prozesssteuerungstools, wie In-situ-Messung und Echtzeit-Prozessüberwachung, so dass die Ausrüstung eine ideale Wahl für alle, die ihren Lithographieprozess optimieren möchten. Darüber hinaus verfügt das System über eine Bibliothek mit gespeicherten Lithographie-Rezepten, so dass Anwender schnell und bequem konsistente Ergebnisse erzielen können. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 eine fortschrittliche Photoresist-Einheit, die überlegene Leistung und Prozesskontrolle bietet. Die Maschine eignet sich aufgrund ihrer extrem geringen Modulation und gleichmäßigen Beschichtungen und ihrer Kompatibilität mit einer breiten Palette von Photolackmaterialien ideal für hochpräzise Lithographieanwendungen. Es verfügt auch über integrierte Prozesssteuerungstools, wie In-situ-Messung und Echtzeit-Prozessüberwachung, was bedeutet, dass Benutzer Rezepte optimieren und wiederholbare Ergebnisse erzielen können.
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