Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Mark V8 #293643504 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 Photoresist Equipment ist ein leistungsstarkes, digitales Musterwerkzeug, mit dem Unternehmen Photomasken mit hoher Präzision und Genauigkeit erstellen können. Es wird bei der Erstellung von Halbleiterbauelementen, Displays und anderen Mikroelektronikprodukten verwendet. Im Kern ist TEL Mark V8 ein Fördersystem, das fortschrittliche Schrittmotortechnologie nutzt, um Funktionen genau auf einen Fotomasken-Rohling zu platzieren. Das Gerät ist für die Bearbeitung von Substraten bis zu einer Größe von 600 mm ausgelegt und läuft mit einer Mindestmustergröße von 0,5 bis 3 µm bei einer Positionsgenauigkeit von 0,3 µm. TOKYO ELECTRON Mark V8 verwendet Photomaskierung, ein Verfahren zur selektiven optischen Entfernung von Teilen eines Substratmaterials (z.B. Silizium) und anschließend zur Geräteherstellung auf eine Photomaske. Die Maschine implementiert fortschrittliche Maskierungstechniken wie: - I-line-Beleuchtung: hat eine Wellenlänge von 365 nm und wird verwendet, um kleine Merkmale zu mustern. - KrF Deep UV: hat eine Wellenlänge von 248 nm und kann zur Strukturierung großer Merkmale verwendet werden. - G-Line-Beleuchtung: hat eine Wellenlänge von 515 nm und wird bei der Strukturierung von mittelgroßen Merkmalen verwendet. - Breitbandbeleuchtung: hat eine breite Wellenlängenabdeckung von 360 bis 420 nm und wird für die Strukturierung einer breiten Palette von Funktionsgrößen verwendet. - Laser Direct Imaging: Verwendet einen unsichtbaren Laserstrahl, um direkt Muster auf einer Fotomaske zu erzeugen, wodurch die Notwendigkeit einer Rundfunkbeleuchtung entfällt. Um Qualität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, bietet Mark V8 mehrere erweiterte Funktionen, die den Maskierungsprozess verbessern. Diese Merkmale umfassen Dual-Strahl-Ausrichtung, Auto-Ausrichtung Korrektur, Edge-Edge-die-Shift-Korrektur, Low-Light-Bilderkennung und hochauflösende Bildgebung. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, gleichzeitig mehrere Verarbeitungsschritte durchzuführen, einschließlich Filmentwicklung, Maskierung, Ätzen und Bildgebung. Die Maschine hat auch die Fähigkeit, mehrere Verarbeitungsmethoden zu unterstützen, um die Bedürfnisse verschiedener Kunden zu erfüllen. TEL/TOKYO ELECTRON Mark V8 ist für Anwender konzipiert, die eine schnelle und zuverlässige Produktion von High-End-Photomasken benötigen. Seine Genauigkeit und Wiederholbarkeit machen es für Hersteller von Halbleiterbauelementen, Displays und anderen komplexen elektronischen Bauelementen geeignet. Das Werkzeug ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu verarbeiten, und seine Eigenschaften bieten Unternehmen eine effiziente und qualitativ hochwertige Möglichkeit, komplexe elektronische Geräte zu erstellen.