Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293591400 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist eine vollautomatische Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in Halbleiter- und Photomasken-Herstellungsprozessen. Das System verfügt über einen fünfachsigen Roboterspinner für eine schnellere und präzisere Prozesssteuerung. Der Roboter ist in der Lage, bis zu 1800 U/min zu drehen, wodurch der Benutzer mehr Kontrolle über die Verarbeitungsanforderungen erhält. Das Gerät verfügt auch über eine eingebaute automatisierte Vision-Maschine, mit Tracking-Technologie, die eine genauere Platzierung von Photomasken auf der Arbeitsfläche ermöglicht. Das Vision-Tool ermöglicht es dem Asset auch, Prozessrezeptparameter zu erkennen, was eine schnellere und genauere Prozesskontrolle ermöglicht. Das Modell TEL MARK-VZ verfügt zudem über einen hochpräzisen Spinner-Antrieb, der konsistente und gleichmäßige Abscheideraten von Photoresist liefert. Dadurch wird eine gleichmäßige Schichtdicke über den gesamten Wafer gewährleistet. Neben dem hochpräzisen Spinner-Antrieb umfasst das Gerät auch einen Präzisionssprüher, der über SPS gesteuert wird. Dieses System beinhaltet eine integrierte Bildanalysefähigkeit, mit der das Gerät Prozessparameter im Handumdrehen anpassen kann. Dies sorgt für mehr Genauigkeit und Prozesskonsistenz. Die Maschine umfasst auch eine Reihe von Prozessüberwachungs-, Rückkopplungs- und Steuerungssystemen. Dazu gehören Temperatur- und Druckindikatoren, die während des Prozesses Feedback liefern. Es enthält auch einen Konzentrationsmonitor, der Rückkopplung auf die Photolackformulierung liefert. Schließlich beinhaltet das TOKYO ELECTRON MARK V-Z Tool eine Benutzeroberfläche zum Einrichten und Überwachen von Prozessen. Diese Benutzeroberfläche ist für eine einfache Bedienung ausgelegt und ermöglicht eine schnelle Einrichtung und Überwachung von Prozessparametern. Die Schnittstelle bietet auch detaillierte Informationen über die Prozessparameter, um genaue und konsistente Ergebnisse im Laufe der Zeit zu gewährleisten.