Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #293828918 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Herstellung von Halbleiterbauelementen für die Elektronenstrahllithographie und -ätzung. Das System besteht aus einer Vakuumkammer, einem Verschluss, einer Ionenpistole und einem optischen Mikroskop. Die Vakuumkammer ist für die Aufrechterhaltung einer Hochvakuumumgebung ausgelegt. Ein Verschluss wird verwendet, um den Strahl aus der Elektronenkanone zu dispergieren, der für eine Auflösung von 10 nm oder besser feinjustiert werden kann. Eine Ionenpistole ist auch als Kammerreinigungseinheit enthalten. Mit einem optischen Mikroskop wird die Probe abgebildet und die Größe und Form des Strahlflecks überwacht. TEL MARK-VZ ermöglicht das hochauflösende direkte Schreiben von Submikronfunktionen mit einer Auflösung von mehr als 10 nm. Es bietet ein komplettes Fotolackmuster-Toolkit, um komplexe Musterformen mit mehreren Ebenen von KEs zu erstellen. Die Strukturierungsmerkmale können mit einer Genauigkeit von 1 µm ausgerichtet werden. Durch die Verwendung einer mehrkanaligen Ausrichtungsmaschine können mehrere Muster mit hoher Genauigkeit aufeinander abgestimmt werden. ELEKTRON VON TOKIO KENNZEICHNET V-Z auch ermöglicht Hochgeschwindigkeitselektronsteindruckverfahren mit einer schnellen Scangeschwindigkeit und kurze RF-Pulszeit. Das Werkzeug kann in verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden, z.B. zur Erstellung von optischen Masken, Dünnschichttransistoren, MEMS-Bauelementen und integrierten Schaltungen. Insbesondere bietet es hochauflösende und Hochgeschwindigkeitsschreibmuster für MEMS-Geräte. Das Asset ist hochgradig anpassbar und kann für mehrere Anwendungen und Materialien verwendet werden. TOKYO ELECTRON MARK Vz ist ein zuverlässiges und effizientes Photolackmodell für die Geräteherstellung. Es ist für hohen Durchsatz und hochauflösende Musterung ausgelegt. Das Gerät bietet erweiterte Funktionen, um komplexe mikro- und nanoskalige Funktionen sicher und präzise zu erstellen. Es ist sehr anpassbar und für eine breite Palette von Geräteherstellungsanwendungen geeignet.