Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9111395 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist eine Photoresist-Verarbeitungsanlage, die entwickelt wurde, um Oberflächen effizient zu ätzen, abzubilden und zu reinigen. Es bietet eine Komplettlösung für die Photolackverarbeitung mit hochmodernen Komponenten, Prozessen und Software. Das System verfügt über eine Zwei-in-One-Atmosphärensteuerung, die Konsistenz und Genauigkeit mit kombinierter Vakuum- und Stickstoffgasregelung für optimale Abbildungs-, Ätz- und Abscheidungsergebnisse gewährleistet. Photoresist ist ein spezielles Material, das verwendet wird, um integrierte Schaltungen zu strukturieren. Es wird in der Halbleiterindustrie verwendet, um ein präzises Muster auf einem Siliziumsubstrat anzuwenden. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter eine Prozesskammer und Duschkopfanordnung, Reaktor mit Kopf-Entladeeinheit, Nanolaminatkassetten, Prozessgassteuerung und Software. Die Systeme bieten zusätzlich sowohl HF- als auch HCl-Nassätzen für Photolackmuster-, Ätz- und Reinigungsprozesse. Das HF-Ätzverfahren entfernt den Photolack vom Siliziumsubstrat und reinigt das Substrat, um es für nachfolgende Schritte vorzubereiten. Die HCl-Ätzung wird für eine flache Ätzung verwendet, die eine präzise Tiefenkontrolle ermöglicht. Die Fotoresist-Kassettenmaschine hat die Fähigkeit, variable Dicken anzubieten, und kann verwendet werden, um von flach bis tief einschließlich Vorätzen und Nachätzen zu ätzen. Es verfügt auch über eine einzigartige Passivierung, die die thermische Dispersionsleistung bei der Beschichtung des Substrats verbessert. Die Prozessgase des Werkzeugs werden reguliert, um eine optimale Bildgebungsleistung, Ätz- und Abscheidungsprozesse sowie den Substratschutz zu gewährleisten. Das Asset verfügt über eine Vielzahl benutzerfreundlicher Prozesssteuerungssoftware, wie eine Prozesssteuereinheit mit einer grafischen Benutzeroberfläche und einen Prozesskammer-Sicherheitsmonitor, um eine sichere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Das Modell ermöglicht auch die Rezeptbearbeitung von einem entfernten Terminal aus. Diese Funktionen ermöglichen eine schnelle und genaue Einstellung der Prozessparameter für konsistente und genaue Ergebnisse. TEL MARK-VZ Photolackverarbeitungsgeräte maximieren die Genauigkeit und reduzieren die Zykluszeit für Photolackverarbeitungsaufgaben erheblich. Die Kombination aus effizienten Komponenten, Prozessen und Software macht es zu einer idealen Lösung für Anwendungen in den Bereichen Oberflächenbildgebung, Ätzen und Reinigung.