Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9118822 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die für die Herstellung von mehrschichtigen Submikrongeräten entwickelt wurde. Es besteht aus einem Photomasken-Aligner, einem Spinner, einem Trockenätzer, einem Nassentwickler und einem Plasmaascher. Das System ist in der Lage, bis zu vier mehrschichtige Schichten von Submikron-Gerätevorläufern mit einer äußerst präzisen Genauigkeit durch den Einsatz seiner automatisierten Ausrichteinheit und seines hochkonfigurierbaren, mehrschichtigen Resist-Prozesses abzuscheiden. TEL MARK-VZ Maske Aligner ist in der Lage, sowohl positive als auch negative Widerstände bei Auflösungen bis zu 0,15 μ m zu maskieren, so dass es ideal für die Herstellung von Submikrongeräten ist. Der Spinner ist auch hochpräzise und verfügt über eine temperaturgesteuerte Umgebung, die eine feinjustierte Steuerung der Photolackverdampfungsrate und -dicke ermöglicht. Mit Hilfe der ALD/PEALD- und DVD-Systeme kann eine hochgleichmäßige und hochwertige Resistfolie erhalten werden. Der Trockenätzer ist auch ein wesentlicher Bestandteil der Maschine und ermöglicht die präzise Abscheidung von Dotierstoffen und anderen Komponenten auf Substraten vor der Photoresist-Strukturierung. Der Nassentwickler verwendet das nasschemische Bearbeitungswerkzeug, um eine zuverlässige Resistentwicklung zu gewährleisten, die einen gleichmäßigen Widerstandshub und eine gleichmäßige Entfernung erreichen kann. Schließlich sorgt der Plasmaascher für eine fein abgestimmte Ätzung, indem er die Probleme beim Unterätzen oder Überätzen beseitigt, die bei herkömmlicher Trockenätzung auftreten können. TOKYO ELECTRON MARK V-Z bietet fortschrittliche Geräteherstellung und eine Reihe von Anpassungsfähigkeit, um die spezifischen Anforderungen seiner Kunden zu erfüllen. Es ist ein zuverlässiges und hochpräzises Photoresist-Asset, das für die anspruchsvollsten Anwendungen mit automatisierten und hochkonfigurierbaren Resist-Prozessen und Alignment-Systemen entwickelt wurde. Das Modell bietet zudem schnellere Ausführungszeiten und Taktzeiten sowie eine kosteneffiziente Verarbeitung, so dass Kunden ihre Geräte zuverlässig, schnell und mit weniger Abfall herstellen können.