Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9142614 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die für verschiedene Anwendungen wie Photolithographie, Dünnschichtabscheidung und Planarisierung entwickelt wurde. Als aktualisierte Version des MARK.V spiegelt dieses Photoresist-System die Kombination ausgefeilter verfahrenstechnischer Techniken wider, die auf TEL-Expertise und langjähriger harter Erfahrung basieren. Herzstück der Maschine ist ein ausgeklügelter Controller, der bis zu acht Verarbeitungsmodule gleichzeitig verwalten kann, so dass mehrere Prozessrezepte in einem Lauf eingesetzt werden können. Es verwendet eine Echtzeit-dreidimensionale Topographie-Verarbeitung und -Überwachung mit einem DOS-basierten Offline-Programmierer, mit dem Benutzer die Verarbeitungsparameter einfach programmieren, überwachen und anpassen können. TEL MARK-VZ ist mit einer fortschrittlichen 7-Achsen-Roboterarmeinheit ausgestattet, die in der Lage ist, eine präzise Ausgabebewegung durchzuführen und gleichzeitig eine zuverlässige Automatisierung während der anspruchsvollsten Beschichtungs- und Photoresistprozesse zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet es einen dynamischen Bereich von Bewegungssteuerungsparametern und ermöglicht es Benutzern, die Bewegungen des Roboters für jeden bestimmten Prozess genau zu programmieren. Die Maschine verwendet auch eine Doppelbalkenquelle des Elektronbalkensteindruckverfahrens (EBL) (der an 50 KeV funktioniert), genaue Musternentschlossenheit und hohe Genauigkeit zu sichern, und Herausforderungen von kleinen kritischen Dimensionen und feineren Linienbreiten auf Oblaten effektiv zu richten. TOKYO ELECTRON MARK V-Z ist auch mit einer Ionenquelle für Implantationsprozesse ausgestattet, die optimale Endpunktmessungen und eine enge Konformität der Materialschicht ermöglicht. Schließlich liefern die hochgenauen optischen Mess- und Prozessüberwachungsfunktionen überlegene Fehler- und Produktionsausbeute. Die fortschrittliche Multi-Sensor-Messtechnik des Werkzeugs verwendet sowohl optische als auch elektrische Messungen, um kritische Eigenschaften wie Filmdicke, Widerstandsdicke, Mustergröße, Schritthöhe und Oberflächengleichmäßigkeit zu messen. Das integrierte berührungslose vierwellige ellipsometrische Metrologiemodell (EM) ermöglicht zudem eine effiziente In-Process-Charakterisierung und Validierung topographischer Veränderungen. Zusammengefasst bietet TOKYO ELECTRON MARK Vz eine leistungsstarke, automatisierte und genaue Photolackausrüstung für F&E und Produktionsanwendungen. Mit den richtigen Fähigkeiten und Erfahrungen kann dieses System zuverlässige und präzise Ergebnisse in einer Vielzahl von Prozessen gewährleisten, was letztlich zu verbesserten Produkterträgen führt.