Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9226209 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist eine Photolackausrüstung, die für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das in Halbleiterprozessen wie der Photolithographie verwendet wird und die präzise Übertragung eines Musters von einer Maske auf den Wafer ermöglicht. TEL MARK-VZ ist in der Lage, Halbleiterscheiben bis zu 200mm zu handhaben, und verwendet ein hochmodernes Resistbeschichtungsmodul, das eine hohe Präzision des Resistauftrags ermöglicht. Darüber hinaus ist das System mit einem direkten Kontaktbelichtungsmodul und einem präzisen optischen Bremssattel zur Erzielung genauer Resistmusterergebnisse ausgestattet. Das Gerät verwendet eine hochauflösende CCD-Kamera zur direkten Überwachung des Waferzustands vor dem Belichtungsprozess sowie einen geräuscharmen Galvano-Spiegel, der eine präzise Steuerung des Belichtungsmusters ermöglicht. Da Belichtungsprozess und Beschichtungsmodule vollautomatisiert sind, ist die Maschine in der Lage, hohe Wiederholbarkeit für gleichbleibend hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus kann eine Reihe von Rezepten leicht im programmierbaren Speicher des Tools gespeichert und abgerufen werden, was eine erhöhte Effizienz bei komplexen Prozessen mit mehreren Schritten ermöglicht. Darüber hinaus wurde TOKYO ELECTRON MARK V-Z entwickelt, um ein hohes Maß an Sicherheitsleistung mit einem geringen Risiko für Kontamination, unbeabsichtigte Exposition und andere Sicherheitsprobleme zu bieten. Das Modell nutzt ein reinraumkompatibles Gasversorgungsmodul und ist mit Sicherheitsverriegelungen ausgestattet, um unnötige Belichtung sowie Gasentladungsverhinderung und Reinigung/Sterilisation nach jedem Resistbeschichtungsprozess zu verhindern. Darüber hinaus enthält das Gerät einen UV-Sicherheitsmonochromator, der die Strahlungswerte während des Belichtungsprozesses überwacht und das Strahlungsniveau automatisch auf den optimalen Wert einstellt und eine sichere Betriebsumgebung gewährleistet. Insgesamt ist MARK-VZ ein hochentwickeltes Photolacksystem, das ein unübertroffenes Maß an Präzision, Sicherheit und Effizienz bietet. Durch die Kombination von hochmodernen Resistbeschichtungs- und Belichtungsmodulen mit fortschrittlicher CCD-Überwachungstechnologie bietet das Gerät Anwendern eine zuverlässige und konsistente Plattform zur Verarbeitung hochwertiger Wafermuster mit minimalem Aufwand.
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