Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON MARK Vz #9273847 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9273847
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Developer, 6"
(2) Developer tracks
(3) Low hot-ovens (Max under 200°C)
(3) Cooling-plates
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vz ist eine Präzisions-Photoresist-Ausrüstung. Es wird bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) als photolithographisches Verfahren verwendet. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das während der IC-Herstellung auf ein Substrat aufgebracht wird, das dann einer strukturierten Lichtquelle ausgesetzt wird, die als Retikel bezeichnet wird. Das System ermöglicht das präzise Ätzen und Abscheiden von Materialschichten auf das Substrat. Die Einheit besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem optischen Stepper, einem Scriber, einem Maskenausrichter und einem Plasmaätzer. Mit dem optischen Stepper wird die Photolackschicht exakt dem Retikel ausgesetzt. Mit dem Scriber wird das Substrat vor und nach dem Ätzvorgang geschnitten und geformt. Der Maskenausrichter wird verwendet, um eine korrekte Ausrichtung zu gewährleisten und die Variabilität des photolithographischen Musters zu verringern. Schließlich wird der Plasmaätzer verwendet, um die Filmmuster mit entsprechender Tiefe und Geschwindigkeit auf die Photolackschicht zu ätzen. TEL MARK-VZ verfügt über mehrere Funktionen, die zur Optimierung des Photolackprozesses verwendet werden können. Die proprietären Lasermikroätztechnologien der Maschine haben schnellere Zykluszeiten, einen höheren Durchsatz und letztlich höhere Erträge für die IC-Fertigung ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die adaptive Linsentechnologie des Werkzeugs eine schnelle Anpassung an unterschiedliche Retikelmuster und Funktionsgrößen für feinere Details. TOKYO ELECTRON MARK V-Z bietet auch eine Reihe von Betriebsmerkmalen, die die Zuverlässigkeit verbessern und den effizienten Betrieb erleichtern. Dazu gehören die automatische Temperaturregelung sowie Druckregler zur Steuerung des Ätzprozesses. Darüber hinaus verfügt TEL/TOKYO ELECTRON MARK V-Z über eine umfassende Benutzeroberfläche und ein Softwarepaket, das Anwender durch den Einrichtungs- und Auswertungsprozess führt. Abschließend ist TEL MARK V-Z eine zuverlässige und leistungsstarke Photolackanlage, die für die IC-Fertigung verwendet wird. Seine erweiterten Photolithographie-Funktionen ermöglichen schnellere Zykluszeiten, einen höheren Durchsatz und höhere Erträge. Die Betriebseigenschaften und die Benutzeroberfläche gewährleisten zudem eine zuverlässige Bedienung und Benutzerfreundlichkeit. Mit diesen Merkmalen ist MARK V-Z eine gute Wahl für die IC-Herstellung und andere photolithographische Verfahren.
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