Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Stratus 200 #9187451 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9187451
Wafergröße: 6"-8”
Weinlese: 2009
Electroplating system, 6"-8”
Cassette to cassette: Yes
Process: CU and AU
Tanks: No
Power Requirements: 120/208 V, 150.0 A, 50/60 Hz, 3 Phase
CE Marked
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Stratus 200 Equipment ist ein Hochleistungs-Photolacksystem, das derzeit in einer Vielzahl von industriellen Anwendungen wie der Herstellung von Halbleiter- und Flachbildschirmen eingesetzt wird. TEL Stratus 200 Unit besteht aus einem Vakuum-Waferlader, Substratübertragungsroboter, Vakuum-Wafer-Handler und Lithographiewerkzeug sowie verschiedenen peripheren Komponenten. Der Vakuumwaferlader dient dem Transport von Substraten und deren Aufrechterhaltung in einer gleichmäßigen Druckumgebung, wodurch hohe Anforderungen erfüllt werden. Dieses Gerät läuft auf einem Schrittmotor und kann für bis zu 50 8-Zoll-Wafer programmiert werden. Der Substratübertragungsroboter dient dazu, das Substrat vom Lader aufzunehmen und zum Lithographiewerkzeug zu transportieren. Dieser Roboter hat sechs Freiheitsgrade und ist durch seine bürstenlose DC-Motormaschine hochpräzise und zuverlässig. Es ist aus Edelstahl gefertigt und hat ein leichtes, aber robustes Design. Der Vakuum-Wafer-Handler ist ein Vakuumgerät, mit dem bis zu 300 8-Zoll-Wafer in einer gleichmäßigen Druckumgebung gehalten werden. Dieses Gerät ist aus Aluminium gefertigt und verwendet ein proprietäres Messwerkzeug, um die Substrate genau und konsistent zu messen. Das Lithographie-Tool ist die primäre Komponente von NEXX Stratus 200 Asset. Dieses Werkzeug ist auf Nanopräzision ausgelegt und verfügt über ein sehr präzises und stabiles optisches Modell. Es verwendet fortschrittliche Bildverarbeitungssysteme und ausgefeilte Software, um eine maximale Leistung für eine Vielzahl von Anwendungen zu bieten. Darüber hinaus verfügt es über erweiterte Maskenausrichtung und kontrollierbare und automatisierte Belichtungstechniken. Stratus 200 Equipment ist ein sehr zuverlässiges System, das in der Lage ist, die Präzisionsanforderungen einer Vielzahl von Branchen zu erfüllen. Seine anspruchsvollen Komponenten, seine überlegene Konstruktion und die Kombination aus fortschrittlicher Bildgebung und Software machen ihn zu einer der Top-Lösungen für die Photolackverarbeitung.
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