Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9276948 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON PHP Ofen für ACT 8 ist eine ahigh-Performance-Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die für eine optimale Photoresist-Profilierung erforderlichen Temperaturen genau zu steuern. Dieses System bietet einen ultrapräzisen und konsistenten Wärmeübergang, der hohe Temperaturen eliminiert, die dazu führen, dass sich Photolackpartikel innerhalb des Substrats ausdehnen und zerlegen. Dies wird durch die doppelwandige pyrolytisch beschichtete Quarzkammer des Ofens und die jeweilige Heizeinheit erreicht. Diese Maschine besteht aus einer oberen Quarzkammer, in der der Fotolack gehalten ist, wobei die untere Quarzkammer ein proprietäres Unterbodenheizwerkzeug enthält. Die beiden Einzelkammern sind über gasgefüllte Dichtungen verbunden und bilden so eine luftdichte Heizumgebung. Die Unterflurheizung transportiert über ein zentrales Heizelement Wärme in die Quarzkammer. Zur Messung der Prozesstemperaturen in Echtzeit wird ein ultraschnelles Ansprechthermoelement installiert, das eine schnelle Reaktionszeit und eine präzise thermische Steuerung ermöglicht. Der TEL PHP Ofen für ACT 8 bietet einen Temperaturbereich zwischen 50 und 300 ° C, der exakt durch einen einzigartigen Konvektionsalgorithmus gesteuert wird. Dieser Algorithmus überwacht die Geschwindigkeit der Temperaturänderung innerhalb der Quarzkammer und festigt gegebenenfalls die Bewegung mittels eines Luftstroms. Dadurch wird sichergestellt, dass die Temperatur innerhalb der Quarzkammer nicht nur schnell die erforderlichen Werte erreicht, sondern auch Temperaturen mit ausgezeichneter Genauigkeit und Konsistenz aufrechterhalten. Der Ofen enthält auch eine Reihe von Wärmepunktsystemen, die laserbasiert und individuell steuerbar sind. Die jeweilige Wärmespitze kann dazu verwendet werden, die Wärmeverteilung über die Substrate zu isolieren oder sogar zu erhöhen. Dieses Modell kann auch verwendet werden, um eine Basaltemperatur vor jedem chemischen Prozess innerhalb der Quarzkammer zu erzeugen. Ein weiteres Merkmal ist die einzigartige Selbstüberwachungstechnologie des Geräts, die die Sicherheit von Personal und Ausrüstung gewährleistet. Dies geschieht durch Erfassen von Temperaturüberlastungen und Ansprechen durch Abschalten der Heizzufuhr. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON PHP Ofen für ACT 8 hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit durch seine ultrapräzise Temperaturregelung und Zwangsluftkonvektionsmechanismen. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder mit dem System durchgeführte Photolackprozess zu einem bestmöglichen Qualitätsergebnis führt.