Gebraucht TOSHIBA CMT-600W #9410792 zu verkaufen
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ID: 9410792
Coater system
Roll to roll
Double sided
Tooling flatness: 0.3um
Motor drives: Direct drive
600mm Coating range: 500mm
Film thickness accuracy: ± 2%
Speed: 50m/min
Adjustable intermittent coating
30-300N / Width.
TOSHIBA CMT-600W ist eine Fotoresistausrüstung, die von der TOSHIBA Corporation entworfen und gebaut wurde. Es ist ein hochpräzises, vollautomatisiertes, berührungsloses Resistverarbeitungssystem, das eine effiziente Belichtung und Entwicklung von großflächigen optischen Objekten ermöglicht. CMT-600W wurde entwickelt, um mit einer Hochleistungs-Belichtungseinheit und fortschrittlichen Belichtungsverfahren eine extrem hohe Auflösung zu erreichen. Die Maschine kann eine Reihe von optischen Objekten aufnehmen, einschließlich Halbleitermasken, Displays und Photoleitersubstrate. TOSHIBA CMT-600W verwendet eine Hochleistungs-Xenon-Lampe mit einem Wellenlängenbereich von 400 bis 450 Nanometern, die bis zu 4.000 mJ/cm2 Belichtungsenergie liefern kann. CMT-600W verwendet ein zweistufiges Belichtungswerkzeug, das eine Belichtungsstufe und eine Fokuskorrekturstufe umfasst. Während der Belichtungsstufe wird das Objekt mit Licht aus der Xenonlampe bestrahlt, gefolgt von der zweiten Stufe, wo die Fokuskorrektur durchgeführt wird, um eine genaue Anordnung der Merkmale auf dem Substrat zu gewährleisten. Das Asset verfügt auch über eine automatische Neigungsoption, die verwendet wird, um ungleichmäßige Flächenhöhen über dem Substrat auszugleichen. Dadurch wird eine gleichmäßige Belichtung über den gesamten Substratbereich erreicht. TOSHIBA CMT-600W ist zudem mit einem leistungsstarken Entwicklungsmodell ausgestattet, das ein schnelles und einfaches Spülen und Trocknen der Resistoberfläche ermöglicht. Neben den leistungsstarken Belichtungs- und Entwicklungssystemen verfügt CMT-600W über eine Vielzahl weiterer Funktionen, die es zu einem vielseitigen Werkzeug in der Kategorie Photoresist-Verarbeitung machen. Es verfügt über eine automatisierte Reinigungsausrüstung sowie einen ultravioletten Lichtemissionsmonitor und ein integriertes Lückenfüllsystem. Das Gerät umfasst auch eine eingebaute Defektinspektionsmaschine, die Fehler identifizieren und isolieren kann, so dass Benutzer die Qualitätskontrolle während des gesamten Prozesses gewährleisten können. Insgesamt ist TOSHIBA CMT-600W eine hervorragende Lösung für die Photolackverarbeitung, die eine überlegene Auflösung, Genauigkeit und Flexibilität für großflächige optische Objekte bietet. Es kombiniert moderne Technologie mit fortschrittlichen Designelementen, um hervorragende Ergebnisse zu erzielen. Das Werkzeug eignet sich für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen, von der Halbleitermaskierung bis zur Display-Fertigung. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und einer zuverlässigen Leistung ist CMT-600W die ideale Wahl für die Fotolackverarbeitung.
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