Gebraucht TRYMAX NEO-3000 #9269770 zu verkaufen

TRYMAX NEO-3000
ID: 9269770
Reactive Ion Etcher (RIE) 2010 vintage.
TRYMAX NEO-3000 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Es verwendet eine Kombination innovativer Technologien, die eine überlegene Anpassung der damit verbundenen Expositionen ermöglichen. Diese schließen Grayscale Positive Intensitätsmodulation (G-PIM) ein, Vertikale Anordnung (VA2) und Selective Pattern Placement (SPP), die zusammen berücksichtigen, dass fortgeschrittenes Muster zwischen dem Foto zusammenpasst, widersteht Schichten. Das Ergebnis ist, dass bei minimaler Einstellung der Belichtungsparameter feine Merkmalsgrößen und eine gute CD-Gleichmäßigkeit erreicht werden können. NEO-3000 verfügt über einen hochpräzisen mehrphasigen Hochgeschwindigkeitsvektorscanner mit variabler Abtastbreite. Dies ist ein extrem genaues Gerät, das die Genauigkeit von +/-0.2um für die Steuerung der Funktionsgröße erreichen kann. Diese Genauigkeit ermöglicht eine hervorragende Musteranpassung zwischen verschiedenen Fotoresistschichten mit viel geringeren Anpassungsniveaus. Das System enthält auch eine hochfrequente Lichtquelle, gekoppelt mit einer Vielzahl von anpassbaren Belichtungssteuerparametern. Dadurch können Anwender die genaue Schnittgenauigkeit und -tiefe erreichen, die sie benötigen. Darüber hinaus verfügt TRYMAX NEO-3000 über ein Dosierwerkzeug, das die Belichtungszeit und -dosis exakt nach benutzerdefinierten Parametern steuern kann. NEO-3000 umfasst auch eine Reihe von Überwachungssystemen, mit denen Benutzer die Leistung des Geräts in Echtzeit überwachen können, um fehleranfällige Praktiken zu minimieren. Insgesamt ist TRYMAX NEO-3000 eine fortschrittliche Fotoresist-Maschine, die eine überlegene Musteranpassung zwischen Fotoresst-Schichten mit sehr geringen Anpassungen sowie einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. Es ist die perfekte Lösung für jede Lithographie-Anwendung, die präzise Platzierung von Mustern, komplexe Musteranpassung oder Kontrolle der Größe von Funktionen erfordert.
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