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TRYMAX NEO-3000 Photoresist Equipment ist ein revolutionäres neues System, das ein präzises und konsistentes Ätz- und Abscheidungsniveau für komplexe Photoresist-Prozesse bietet. Das Gerät besteht aus einer Reihe von Komponenten, die zusammenarbeiten, um ein präzises, wiederholbares und zuverlässiges Verfahren zur Herstellung mikroelektronischer Komponenten zu schaffen. Im Kern umfasst NEO-3000 Maschine einen automatisierten Resist-Prozessor, der das Ätzen und Abscheiden von Photolacken vereinfacht und beschleunigt. Der Prozessor wird von einer einfach zu bedienenden, intuitiven Software-Oberfläche gesteuert, mit der Benutzer Prozessrezepte erstellen und speichern können. Rezepte werden mit Hilfe eines Datenerfassungs- und Management-Tools gespeichert und angewendet, das die verschiedenen Elemente des Prozesses verfolgt und steuert. Die gesamte Anlage ist mit einer breiten Palette integrierter Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um sicherzustellen, dass Photolackprozesse in einer sicheren Umgebung durchgeführt werden. Das Modell kommt auch mit einer Reihe von erweiterten Funktionen, die Prozessgenauigkeit und Kontrolle erhöhen. Zum Beispiel hat das Gerät eine „Tagging“ -Option, die jedes Widerstandsrezept mit einem Wafer während des Transports verknüpft, so dass der Prozessor automatisch das entsprechende Rezept auswählt, wenn es von Station zu Station verschoben wird. Der Prozessor enthält auch ein „Bin“ -Merkmal, das als selbstreinigendes System fungiert, das Präzision beibehält, indem er jeden Schritt des Resist-Prozesses berücksichtigt und Fehlerquellen oder Kontaminationen beseitigt. Die TRYMAX NEO-3000 Photoresist-Einheit wurde entwickelt, um ein hohes Maß an Prozessexzellenz für komplexe Photoresist-Anwendungen zu bieten. Seine fortschrittlichen Sicherheits-, Überwachungs- und Kontrollfunktionen bieten ein gleichbleibendes Qualitätsprodukt mit minimiertem Fehlerrisiko. Seine einfache Bedienung und intuitive Software-Schnittstelle machen die Maschine ideal für Unternehmen, die ihre Produktivität steigern und die Betriebskosten senken möchten.
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