Gebraucht ULTRA OPTICS Mini II #9277326 zu verkaufen

ULTRA OPTICS Mini II ist eine neue Photolackausrüstung, die eine zuverlässige und hochpräzise Herstellung von mikrooptischen Komponenten in verschiedenen Substraten ermöglicht. Dieses System kombiniert mehrere Komponenten zu einer hocheffizienten und zuverlässigen Photolackeinheit. Die Maschine bietet hervorragende Gate- Definition Leistung und niedrige Defektniveaus für die Herstellung von optischen Komponenten. Es verfügt über eine kompakte Stellfläche für Bediener, um in jeder mikrooptischen Fertigungsumgebung leicht auf sie zugreifen und sie verwenden zu können. Das Werkzeug verwendet eine Präzision USQ 193nm rotierende Projektionsprojektion Asset, die hochauflösende Bildgebung auf dem Substrat liefert. Dieses rotierende Modell ermöglicht eine extrem präzise Ausrichtung des aufgebrachten Fotolacks auf Geometrien auf dem Substrat. Die Projektionseinrichtung ist zur präzisen Positionierung des Substrats relativ zum Fokus der Projektionsstrahlen auf einer XYZ-Stufe montiert. Das System nutzt auch einen 6-Axis Roboterarm, um Substrate zwischen allen Prozessmodulen genau zu übertragen. Die Photolackeinheit verwendet einen Multi-Jet-Tauchfluidstrahl, der eine hochpräzise und genaue Ausgabe von Photolack über dem Substrat ermöglicht. Dieser Prozess reduziert den Abfall während des Prozesses und sorgt für eine genaue Applikation des Photolacks. Nach dem Aufbringen des Photolacks wird es für die zur Bildung eines Bildes auf dem Substrat erforderliche Vernetzungsreaktion zirkular polarisiertem Licht ausgesetzt. Zur Überwachung der vernetzten Bereiche wird dann eine ultraviolett sichtbare Bildgebungsmaschine eingesetzt. Ein automatisierter Spin-Coater kann verwendet werden, um Photolack auf große Substrate aufzubringen und eine homogene Anwendung zu ermöglichen. Dieses Spin-Coater-Tool ist in Mini II Asset integriert und ermöglicht das automatisierte Auftragen einer Photolackbeschichtung, die eine überlegene Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit bietet. Schließlich wird die Genauigkeit des Photolackmodells durch eine integrierte Steuereinrichtung gewährleistet. Dieses System ermöglicht es dem Bediener, eine grafische Benutzeroberfläche zu verwenden, um Parameter wie die Photolackdosis, die Kamerabelichtungszeit, die Ausgabegeschwindigkeit und die Drehgeschwindigkeit zu steuern. Dadurch wird sichergestellt, dass der Abbildungsprozess wiederholbar und zuverlässig ist. Zusammenfassend ist ULTRA OPTICS Mini II eine fortschrittliche Photolackeinheit, die eine hochzuverlässige und präzise Herstellung mikrooptischer Komponenten in verschiedenen Substraten ermöglicht. Es verwendet eine präzise USQ 193nm rotierende Projektionsmaschine und einen automatisierten Multi-Jet-Tauchflüssigkeitsstrahl, um Photoresist genau auszugeben. Ein integriertes Kontrollwerkzeug sorgt für Prozesswiederholbarkeit und Genauigkeitskontrolle, die eine qualitativ hochwertige und zuverlässige Fertigung gewährleistet.