Gebraucht ULTRA OPTICS MR3 #293614892 zu verkaufen
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ULTRA OPTICS MR3 ist eine Photolackausrüstung, die für die speziellen Anforderungen von großformatigen Anwendungen entwickelt wurde. Es bewältigt eine Vielzahl von Aufgaben - Reinigung, Beschichtung, Belichtung, Entwicklung und Ätzen - mit einem hohen Maß an Effizienz und Zuverlässigkeit. Das System besteht aus einer Reihe von modularen Komponenten, die jeweils zweckgebunden ausgelegt sind. Herzstück des Geräts ist eine Präzisions-Stepper/Scanner-Plattform, die die eigentlichen Lithographie-Prozesse durchführt. Seine Schritt-/Scanner-Mechanismus ist entworfen, um jedes Substrat jeder Größe, einschließlich Wafer bis zu 300mm Durchmesser zu halten. Dies gewährleistet eine präzise Belichtung aller Größen und Formen von Photomasken. Das belichtete Substrat wird dann in die Nachbelichtungsbackheizung eingelegt und erhitzt, um eine einwandfreie Bindung des Photolacks zu gewährleisten. Die schnelle Aushärtezeit und die gleichbleibende Tiefe der mit diesem Ofen hergestellten Photolackschicht sorgen für eine höhere Genauigkeit im Vergleich zu herkömmlichen thermischen Bindeprozessen. Anschließend wird das gekochte Substrat in die Entwicklerstation überführt und in eine Schwefelsäurelösung getaucht. Dieses Verfahren automatisiert die Entfernung des unbelichteten Photolacks vom Substrat und offenbart die gewünschten Muster, die weiterverarbeitet werden können. Darüber hinaus ist die integrierte Ätzmaschine in der Lage, Tiefätzen und Trockenätzen durchzuführen. Das Werkzeug enthält auch einen Präzisionsspinner zur Reinigung des Substrats von Restfotoresist und anderen Materialien. Das Asset verfügt über eine eigene Workflow-Software, mit der Benutzer mehrere Auftragseinstellungen erstellen und den Lithographieprozess verfolgen sowie verschiedene Parameter wie Belichtungszeit, Belichtungstemperatur und Backtemperatur anpassen können. Zusammenfassend ist MR3 ein fortschrittliches Photolackmodell mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Es ist vollautomatisiert und ermöglicht eine schnelle und komfortable Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten, und seine integrierte Software hilft, den Prozess für verschiedene Anwendungen einfach anzupassen. Es bietet eine qualitativ hochwertige Produktion von Geräten, Komponenten und anderen Produkten, die ein photolithographisches Verfahren erfordern.
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