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ULTRA OPTICS MR3
ID: 9357168
Coater system.
ULTRA OPTICS MR3 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die von ULTRA OPTICS entwickelt wurde, um eine extrem hohe Auflösung in Photolithographie-Prozessen zu erreichen. Das System verwendet ein speziell formuliertes Photolackmaterial, das je nach gewünschtem Muster selektiv ultraviolettem Licht ausgesetzt wird. Bei der Belichtung mit UV-Licht erfährt der Photoresist eine physikalische und chemische Veränderung, die zur Bildung eines Reliefbildes führt. Die Hauptvorteile MR3 Einheit sind ihre Kompatibilität mit einer breiten Palette von Materialien und hohe Auflösung. Die Maschine ist in der Lage, einschichtige Muster mit Breiten von 6 Mikrometer bis 75 Mikrometer zu erstellen. Darüber hinaus ist ULTRA OPTICS MR3 Tool in der Lage, eine Auflösung von 10 Nanometern zu erreichen, so dass unglaublich kleine und komplizierte Designs hergestellt werden können. MR3 Asset verfügt über einen automatisierten mehrschichtigen Bildgebungsprozess, um größere Gestaltungsmöglichkeiten und eine schnellere Produktion zu ermöglichen. Zunächst wird der Photolack schichtweise auf den Wafer oder die Designfläche aufgebracht und die Belichtungszeit genau bestimmt. Dann bringt ein Roboterarm UV-Strahlung auf die erste Schicht auf. Schließlich wird der Photolack ausgehärtet und gehärtet. Dieser Vorgang wird dann für jede Schicht der Konstruktion wiederholt, wodurch komplexe dreidimensionale Muster schnell und effizient hergestellt werden können. Darüber hinaus verfügt das ULTRA OPTICS-Modell über anpassbare Belichtungs- und Aushärtungsparameter, die sicherstellen, dass jede Anwendung genau für die jeweilige Aufgabe geeignet ist. Diese Parameter umfassen Verschlusszeit, Strahlgröße, Dosierung und Belichtungszeit, die alle angepasst werden können, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Insgesamt ist ULTRA OPTICS MR3 ein unglaublich vielseitiges, hochauflösendes und automatisiertes photolithographisches System, das komplexe Muster mit präziser Steuerung erzeugen kann. Als solches ist es ein äußerst wertvolles Gut für die Herstellung von extrem präzisen und komplizierten Designs.
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