Gebraucht ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9113171 zu verkaufen
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ID: 9113171
UV Cure system
Bench-top package
Nitrogen blanket
Microprocessor-based programmable controller
Lamp intensity measurement port
Serpentine-style grid lamp
Electrical specifications: 115 V, 60 Hz, 10 Amps, 1-Ph
Currently installed.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8 ist eine leistungsstarke, voll integrierte Photolackverarbeitungsanlage, die speziell zur Verbesserung der Halbleiterherstellbarkeit und -ausbeute entwickelt wurde. Es ist mit zwei leistungsstarken Verarbeitungsquellen und einem 16-Bit-MicroH-Prozessor konfiguriert. Das System ist mit modernster Technologie ausgestattet, die Laserscanning und Reinigung integriert, um Partikelverunreinigungen zu minimieren und überlegene Ergebnisse zu gewährleisten. Die Einheit ermöglicht die Integration mehrerer Workflows und die Anwendung zahlreicher Ätztechnologien. Seine Hauptmerkmale sind die aktive Substratbildstabilisierung (ASIS) und eine Kernregistrierungsmaschine, die die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit für die Musterübertragung bietet. Das Werkzeug bietet außerdem eine hervorragende Feldgleichmäßigkeit, verbesserte Mustertreue, reduzierte flache obere Höhe und eine reduzierte Tiefe. Das gesamte Paket umfasst eine integrierte Quelle, einen optischen Filter, einen Laserverschluss, eine Strahlaustastung, einen Filmbewegungsmechanismus, einen Schlitzmechanismus und Teilsysteme zur Gaszufuhr. Der Vermögenswert bietet auch eine breite Palette von Expositionsquellen, von Breitbandresist bis hin zu fortgeschrittenen Lichtquellen (AL). Darüber hinaus bietet USI UH 102-8 eine große Auswahl an Optionen wie Innenansicht Port, integrierte Reinraum Wände/Anlage, Ultraviolett- und Laserquellen, manuelle/Auto-Anpassung Stationen, Laser-Scan-Modell und Mikrospot-Maske. Die automatische Film- und Schlitzmessung sowie die automatische Strahlausrichtung sorgen auch dafür, dass eine fehlerfreie Belichtung in einer Vielzahl von Anwendungen erreicht werden kann. Der ASIS-Mechanismus korrigiert automatisch kleine Substratfehler (auch im Sub-Micron-Regime), um eine genaue Bildplatzierung zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgen die Hochleistungsoptik und die Laserscantechnik für schnelle und effiziente Bilder für alle Belichtungen. Insgesamt ist ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8 ein herausragendes Photolackverarbeitungssystem, das speziell auf die Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterherstellbarkeit und der Ausbeute ausgelegt ist. Seine ausgeklügelten Systeme und Technologien sorgen für überlegene Leistung und Zuverlässigkeit des Mustertransfers. Die High-End-Funktionen des Geräts garantieren zudem hochgenaue, wiederholbare und spreizarme Ergebnisse.
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