Gebraucht ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #293657345 zu verkaufen
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ID: 293657345
Wafergröße: 6"
Tape mounter, 6"
Vacuum-securing standard wafer stage: Up to 6" / 3"-6" multi-chuck
Spring-loaded roller assembly
Film tensioner
Uniform adhesion provides bubble-free lamination
Circular cutter (wheel-type) for cutting film on film frame
Adjustable cutting pressure for different film
Digital temperature controlled platen
Adjustable work stage height from top of unit
Operate with non-backed or backed film
Accommodates film/protective layer wound on the outside or inside
Adjustable alignment pin and vacuum cup
End cutter for film separation
Protective film take-up roller assembly for use with film with backing layer
Power supply: 115 VAC, 3 Amps, Single phase, 50/60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114 ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die auf die Bedürfnisse von Chipherstellern, Photoresist-Lieferanten und Gießereien zugeschnitten ist. Das System bietet überlegene Bildqualität und Gleichmäßigkeit mit präziser Kontrolle der Belichtungsparameter und Gleichmäßigkeit der Resistschichtdicke. Es ist mit fortschrittlicher UV-Bildgebungstechnologie ausgestattet, gepaart mit einer einzigartigen dreiachsigen Bühne für präzise Overlay-Ausrichtung. Das Gerät ist für hochauflösende Photolithographieverfahren mit einer Auflösung von bis zu 0,2 μ m ausgelegt. Es nutzt Top-of-the-Line-LED-Bildgebung, bietet überlegene Linienbreite Auflösung, mit einem breiten Dynamikbereich. Die Maschine verwendet Pre-BAW-Technologie, um eine schnellere Belichtung, eine schnellere Lösung von Bildartefakten und ein größeres Belichtungsfeld als herkömmliche binäre Maskenausrichtungssysteme zu ermöglichen. Das Tool ist auch in der Lage, mehrere Funktionsrezepte für verschiedene Wafergrößen zu unterstützen, so dass Flexibilität für die Optimierung der Bildqualität und die Beschleunigung des Durchsatzes. Seine integrierte bildgebende Anlage ist in der Lage, 8 „, 12“ und 16 „und 18“ Wafer zu verarbeiten. Es ist für Serienumgebungen mit sehr geringer Ausfallrate und deutlich kürzeren Ausrichtzeiten konzipiert. Das Modell bietet eine umfassende Prozessoptimierung für die Bildqualität mit automatisierter Kantenausrichtung, Wafernähten und Kanten-zu-Kanten-Gleichmäßigkeit. Das Gerät bietet auch die Flexibilität, sich leicht an neue Photoresist-Formulierungen und Prozessrezepturen anzupassen, was die Unterstützung verschiedener Geräte und Technologien ermöglicht. Das Belichtungssystem liefert hervorragende Ergebnisse bei anspruchsvollen IC-Mustern mit ausgezeichneter Ausrichtung und überlagert und minimiert Fehler in der Funktionsbreite. Das ergonomische Design der Einheit ermöglicht einen einfachen Zugang zum Bediener und eine einfache Einstellung der Position und Manipulation von Wafern. Die USI UH 114 wurde für industrielle Anwendungen höchster Qualität entwickelt und ist die ideale Wahl für kostengünstige Ertragsverbesserungen und Mehrwertanwendungen. Die Maschine bietet hochzuverlässige Lithographieleistung für Anwendungen wie mobile und High-End-Halbleiter-IC-Bauelemente, MEMS und Photomaskenproduktion.
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