Gebraucht ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9096008 zu verkaufen
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ID: 9096008
Wafergröße: 2"-3"
Die Matrix Expander, 2"-3"
Table-top
3" Stroke with speed control and adjustable ram height
Digital temperature control
115 V, 3 A, 1 Ph, 50-60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130 ist eine hochmoderne Photolackanlage. Dieses System wurde entwickelt, um dem Benutzer die höchsten Lithographiefunktionen und ultrahochauflösende Bildgebung zu bieten. Die Hauptkomponente des Geräts ist der Novelon-TM Multi-Layer Resist and Machine Controller, der eine präzise Einstellung von Belichtungspegeln, Auflösung und Wiederholbarkeit ermöglicht. Dieses Fotoresist-Tool verfügt auch über hochauflösende Optik und ein bildgebendes Element. Die verwendete Optik umfasst eine optische Säule mit hohem NA-Gehalt, gepaart mit einer ultrahochauflösenden Maske, die einen 1,2-Mikron-Pixelabstand und eine höhere Auflösung als herkömmliche optische Lithographiesysteme aufweist. Das Abbildungsmodell kann mehrere Resistschichten gleichzeitig anzeigen, so dass der Benutzer Metall, Halbleiter oder mehrschichtige Resistmuster mit hoher Genauigkeit erzeugen kann. Die bildgebende Ausrüstung ist auch mit einer computergesteuerten motorisierten Plattform integriert. Diese Plattform ermöglicht es Benutzern, das Substrat leicht zu platzieren, zu bewegen und zu drehen, wodurch die gewünschte Ausrichtung unter Wahrung der Integrität des Substrats erleichtert wird. Neben hochauflösender Optik und Bildgebung umfasst USI UH 130 auch ein erweitertes Softwareprogramm, das automatisierte Belichtungs- und Abtastfunktionen sowie eine integrierte Bibliothek mit voreingestellten Belichtungsrezepten bietet. Dieses Programm kann verwendet werden, um Belichtungssequenzen für eine Vielzahl von Materialien und Prozessanforderungen anzupassen. ULTRON SYSTEMS INC UH 130 hat ein breites Anwendungsspektrum in der Halbleiter- und Leiterplattenindustrie. Dieses System kann verwendet werden, um Muster wie über Stecker, mehrschichtige Resistfunktionen, Löcher mit hohem Seitenverhältnis und Zeilenbreiten mit hoher Auflösung zu erstellen. Seine vielseitige Abbildungseinheit ermöglicht einen geringen Overspray und eignet sich daher hervorragend für die Herstellung von Leiterplatten. Schließlich ist UH 130 eine ideale Wahl für Anwender, die nach hochwertigen Lithographiefunktionen und hochauflösender Bildgebung suchen. Die fortschrittliche motorisierte Plattform, die High-NA-Optik und die automatisierte Belichtung und Probenahme machen die Maschine zu einem zuverlässigen und hochgenauen Fotoresist-Tool.
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