Gebraucht Unknown BPE-2000W #9282437 zu verkaufen

Unknown BPE-2000W
ID: 9282437
Evaporator.
SteamUnknown Unknown BPE-2000W ist eine Photolackausrüstung für Mikroelektronik und Halbleiterindustrie. Dieses vielseitige System kann zum Ätzen, Strukturieren, Modifizieren und Reparieren von Photolackstrukturen auf einer Vielzahl von Substraten verwendet werden. Diese Einheit verwendet ein neuartiges elektrochemisches Verfahren namens Property-Aid, das die Selektivität im Ätzprozess fördert, indem ein Hochspannungsdifferential verwendet wird, das von zwei auf unterschiedlichen Potentialen sitzenden Fotolackschichten erzeugt wird. Dies ermöglicht das Ätzen enger Geometrien ohne Maskenbedarf bei gleichmäßiger Struktur und Beibehaltung der Substratintegrität. Das Verfahren beginnt mit der Spinnbeschichtung eines Photolackfilms auf dem benötigten Substrat. BPE-2000W Maschine nutzt blaues Licht, um den Photolack zu bestrahlen und zu aktivieren, um selektives Ätzen, minimale Überbrückung, höhere Glühtemperaturen und verbesserte Kantenvariationskontrolle zu ermöglichen. Während des Bestrahlungsprozesses wird ein optisches Dichtemessgerät verwendet, um die Gleichmäßigkeit der Belichtungsschicht zu gewährleisten, und das entwickelte Rezept wählt die optimalen Bestrahlungsparameter basierend auf der Substratzusammensetzung, Ätztiefe und angenommener Photoresistfilmhaftung aus. Nach Beendigung der Bestrahlung werden die beiden Fotolackschichten mit zwei Elektroden verbunden, wobei die untere mit Masse und die obere mit einer Hochspannung verbunden ist. Der Property-Aid-Prozess startet mit einem gesteuerten Strom, der von Unbekannt BPE-2000W bereitgestellt wird, um ein Muster in den Fotolackfilm zu ätzen. Das Eigentumshilfeverfahren kompensiert auch die höhere Temperatur des Substrats während des Ätzzyklus. Nach dem Ätzen des Musters kann die Nachbearbeitungsstufe je nach Anwendung aus verschiedenen Prozessen bestehen, darunter Würfeln, Flip-Chippen, Reverse-Etching und via Formation. BPE-2000W Anlage verfügt über eine eingebaute Staubschutzfunktion, um zu verhindern, dass Partikel während der Nachbearbeitung in den Fotolackfilm gelangen. Unbekanntes BPE-2000W Modell kann auch optimale Ätzschritte bieten, wodurch der Bedarf an manuellen Anpassungen minimiert und die Gleichmäßigkeit und der Durchsatz im Mikrofabrikationsprozess verbessert werden. Abschließend ist BPE-2000W Ausrüstung ein vielseitiges und zuverlässiges Photolacksystem für die Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie, das entwickelt wurde, um enge Geometrien zu ätzen, die Substratintegrität zu erhalten und die Kantenvariationskontrolle zu verbessern. Durch den Einsatz des Property-Aid-Verfahrens können die Photolackstrukturen ohne Maskenbedarf geätzt werden und die Nachbearbeitung kann aus einer Vielzahl von Prozessen für optimale Ergebnisse bestehen. Diese zuverlässige Einheit wurde entwickelt, um die Gleichmäßigkeit und den Durchsatz zu maximieren und gleichzeitig Staubschutz und einfache manuelle Anpassungen zu gewährleisten.
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