Gebraucht VERTEQ 1600-3 #293758511 zu verkaufen

VERTEQ 1600-3 ist eine Serie von Photolacksystemen, die speziell auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie abgestimmt sind. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung, die für schnelle, präzise lichtempfindliche Beschichtungsprozesse entwickelt wurde und mit einer Vielzahl von Photolackbeschichtungen und -substraten verwendet werden kann. Es verwendet ein spezialisiertes System, um die Bestrahlung von Photolackbeschichtungen genau zu steuern und kann verschiedene Substratgrößen wie 200 und 300 mm Wafer handhaben. 1600-3 verwendet eine modulare Verteilereinheit mit integrierter Wafersprüheinheit, um Beschichtungen mit gleichmäßiger Dicke aufzubringen. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Beschichtung des gesamten Substrats mit gleichmäßigen Flecken auch in komplexen Musterbereichen. Die Maschine ist mit einem einzigartigen Reflexionsmessgerät ausgestattet, das Laserdioden verwendet, um das Reflexionsvermögen des Substrats und der Photolackbeschichtungen genau zu messen. Dadurch wird sichergestellt, dass auf allen Substratarten, einschließlich metallisierter Substrate, eine gleichmäßige Schichtdicke erreicht werden kann. VERTEQ 1600-3 ist zudem mit einer integrierten Wafer-Waage-Dispense-Kammer ausgestattet, die eine präzise Beschichtung durch einen Nadelkopf mit einer maßgeschneiderten Düsentechnologie gewährleistet. Dies ermöglicht es dem Anwender, Photolackbeschichtungen großflächig exakt abzuscheiden, ohne auf Kontrolle oder Präzision zu verzichten. Darüber hinaus verfügt die Anlage über einen temperaturgeregelten Trockenschrank, der weiterhin eine gleichmäßige Schichtdicke gewährleistet. 1600-3 weist außerdem eine reflektierende Waferstufe auf, die während des Beschichtungsprozesses rotieren kann. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Sprühabdeckung auch auf Substraten mit komplexen Mustern. Das Modell ist auch mit einer optionalen automatisierten Wafer-Tracking-Ausrüstung ausgestattet, die die Genauigkeit des Beschichtungsprozesses weiter erhöht. Die Photoresist-Anlage verfügt zudem über mehrere Sicherheitsmerkmale. Das Gerät enthält einen Sicherheitsschrank, der Spuren von gasförmigen und partikelförmigen Verunreinigungen aus dem Beschichtungsprozess enthält, und einen HEPA-Filter, der eine saubere Arbeitsumgebung gewährleistet. Die Maschine enthält auch eine Notstromabschaltung und einen Monitor mit Alarmen, die den Benutzer benachrichtigen können, wenn sich das Werkzeug in einem unsicheren Zustand befindet. Insgesamt ist VERTEQ 1600-3 ein hochentwickeltes Photoresist-Asset, das präzise Photoresist-Beschichtungsprozesse bietet. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen wie Wafer Waage Ausgabekammer, temperaturgesteuerte Trocknungsofen, integrierte Wafer Tracking-Modell, Reflexionsmessgeräte und Sicherheitsschrank ausgestattet. Diese Eigenschaften machen es zu einem vielseitigen, zuverlässigen und sicheren Photolacksystem für den Einsatz in der Halbleiterindustrie.