Gebraucht VERTEQ 1600-55A #9124029 zu verkaufen
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ID: 9124029
Weinlese: 1990
Spin Rinse Dryer (SRD)
Left hinge door swing
120V, 60 Hz, 15A
1990 vintage.
VERTEQ 1600-55A ist eine Photolackausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist eine präzise, Bank montiert Maschine verwendet, um dünne Filme von Resist zu schaffen, die auf Halbleiterscheiben für Photolithographie-Prozesse angewendet werden. Das System ist mit einer präzisen optischen Ausrichteinheit ausgestattet und kann verwendet werden, um Photolack mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit aufzubringen. 1600-55A enthält einen 55A Waferlader, der 200mm, 150mm oder 100mm Wafer bis zu 800µm dick aufnehmen kann. Es hat eine schnelle Zykluszeit und kann vier Waferanschläge pro Sekunde machen, was eine Produktion mit hohem Durchsatz ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über einen externen Luftzylinder angetrieben durch Step Motor/Antrieb und externen Luftzylinder für Waferbeladung, Antrieb und Positionierung. Das Photolackausgabewerkzeug umfasst drei Pumpen (zwei für negative Digitale und eine für positive Abgabe) sowie einen Druckregler und ein Mischventil. Es verfügt über eine Auswahl programmierbarer Beschichtungs-/Maskierungsfunktionen wie Stufenspreizung und Eckmaskierung mit programmierbaren Quick Change-Funktionen. Das Gut ist in der Lage, hochpräzise, wiederholbare und gleichmäßige Anwendung von Resist auf dem Wafer. Das Photoresist-Modell verfügt über einen linearen 1024-Punkt-Encoder in Verbindung mit einer direkten digitalen Steuereinrichtung, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit während des gesamten Photomasken-Änderungsprozesses beibehält. Es ist auch mit einer antistatischen Vorrichtung zum Entfernen statischer Ladung ausgestattet, die Beschädigungen der Beschichtungsfolie und des Wafers verhindert. Die Maschine wird entworfen und hergestellt, um die Standard-Reinraumanforderungen zu erfüllen. Es wird auch aus einer Kombination von Edelstahl und Epoxidbeschichtung hergestellt, um eine langfristige Beständigkeit gegen saure und alkalische Chemikalien zu gewährleisten. Zusammenfassend ist VERTEQ 1600-55A Photoresist System eine Präzision, Bank montiert Maschine verwendet, um dünne Filme von Photoresist auf Halbleiterscheiben mit hoher Präzision, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit aufzutragen. Es ist für den Einsatz in der Halbleiterherstellung konzipiert und umfasst eine Auswahl programmierbarer Beschichtungs-/Maskierungsmerkmale. Es erfüllt auch die Standard-Reinraumanforderungen und besteht aus langlebigen Materialien.
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