Gebraucht VERTEQ 1600-55M #9123196 zu verkaufen

VERTEQ 1600-55M ist eine hochpräzise Photoresist-Verarbeitungsanlage mit einer Produktionsrate von bis zu 55 Wafer-Starts pro Stunde. Es ist sowohl für Nachbelichtungsbacken (PEB) als auch für programmierte thermische Prozesse in zwei unabhängigen Schränken konzipiert. Das System besteht aus zwei beheizten Schränken, die gleichzeitig verwendet werden können, was einen verbesserten Waferdurchsatz und einheitliche Prozesstemperaturen ermöglicht. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten und Materialien zu verarbeiten, wie Silizium, Polysilizium, Indiumphosphid, Galliumarsenid und andere III-V-Verbindungen. Das Gerät verfügt über mehrere Optionen für eine schnelle und genaue differenziert gepumpte Exposition. Dazu gehören eine X-Y-Bewegungsmaschine zur genauen Teileausrichtung, ein automatischer programmierbarer Waferlader und ein internes Scanner-Tool für Aberrationen erster Ordnung und Hervorhebungen. Ein manueller Ladeträger ist ebenfalls enthalten, um eine probenweise Rezepturkontrolle zu ermöglichen. Das Asset wird durch eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) unterstützt, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Prozesse zu gewährleisten. Dazu gehören auch Werkzeuge zur Parameteranpassung und Rezeptoptimierung. Es kann einfach in andere Systeme wie FOUP-Lager zum automatisierten Be- und Entladen integriert werden. 1600-55M bietet auch erweiterte Prozessdiagnosefunktionen mit integrierter Prozessverfolgbarkeit, einschließlich Aberrationsanalyse zweiter Ordnung. Dies ist nützlich für die Aufrechterhaltung der Prozessqualitätskontrolle. Das Modell enthält ein Fernunterstützungspaket mit E-Mail-Diagnosenachrichten für einen verbesserten Kundenservice. Es ist auch für die Kompatibilität mit den meisten Reinräumen konzipiert, so dass es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. VERTEQ 1600-55M ist eine zuverlässige Photoresist-Verarbeitungsanlage mit verbessertem Waferdurchsatz, Genauigkeit und Wiederholbarkeit über eine Vielzahl von Substraten und Materialien. Dank seiner intuitiven GUI und fortschrittlichen Diagnosefunktionen ist es eine geeignete Wahl für Produktionsanwendungen in der Präzisionsindustrie.