Gebraucht VERTEQ 1600 #9219679 zu verkaufen

Hersteller
VERTEQ
Modell
1600
ID: 9219679
Wafergröße: 2"-4"
Dual stack spin rinse dryer (SRD), 2"-4".
VERTEQ 1600 Photoresist Equipment ist ein hochmodernes Werkzeug zur Herstellung von integrierten Schaltungen auf einer Vielzahl von Substraten. Es ist in der Lage, Wafergrößen von 75 mm bis 450 mm Durchmesser zu handhaben. Das System basiert auf einem vertikal abgetasteten Elektronenstrahl (VSEB) Lithographieverfahren. Das Gerät bietet überlegene Auflösung und Musterfähigkeit bis zu den Größen von halb Mikron und darüber hinaus. 1600 verfügt über eine Advanced Beam Control Machine (BCS), die eine präzise Steuerung der Strahlausrichtung und Fokussierung auf die Waferoberfläche ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass jedes vom Werkzeug erzeugte Muster hochgenau und präzise ist. Die Anlage weist auch eine Reihe weiterer vorteilhafter Merkmale auf, darunter ein integriertes optisches Mikroskop zur Ausrichtung, automatisierte Kalibrierroutinen für alle Ausrichtungsparameter, eine schnelle und präzise Phase sowie eine schnelle und genaue Overlay-Routine. Darüber hinaus bietet das Modell eine fortschrittliche Wafer-Ladeausrüstung und eine intuitive Benutzeroberfläche. VERTEQ 1600 verwendet eine Vielzahl von Standard-Photoresists, um den Lithographieprozess zu erleichtern. Diese Photoresists können für den Einsatz mit verschiedenen Arten von Substraten und Prozessen maßgeschneidert werden, was maximale Flexibilität und präzises Feature Engineering ermöglicht. Darüber hinaus bietet das System verschiedene Belichtungsmethoden, darunter Laserscanning-Photolithographie und Kontaktlithographie. Dies ermöglicht eine maximale Genauigkeit bei der Herstellung von KEs und stellt sicher, dass kein belichteter Bereich von einem anderen überwältigt wird. Insgesamt 1600 Photolack-Einheit ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für die Herstellung von hochwertigen integrierten Schaltungen. Die fortschrittliche Strahlausrichtungsmaschine, präzise Waferstufe, hochauflösende Photoresists und mehrere Lithographieverfahren kombinieren alle, um genaue, präzise und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Damit ist VERTEQ 1600 eine herausragende Wahl für die Hochleistungsmikroelektronik.
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