Gebraucht VERTEQ 1800-6AL #9255500 zu verkaufen

VERTEQ 1800-6AL ist ein vollautomatisiertes CMP-Gerät (Chemical Mechanical Polishing) für Photoresist-Materialien, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Das System verfügt über eine integrierte Bedienkonsole und eine automatisierte Vorschubeinheit, die eine breite Palette von Wafergrößen und Prozessspezifikationen aufnehmen kann. Sein Design für die Photolackplanarisierung bietet eine gleichmäßigere Oberflächengüte über den gesamten Wafer, was zu verbesserten Ausbeuten und Geräteleistungen führt. Die CMP-Maschine verwendet chemisch-mechanisches Polieren (CMP), um eine präzise Oberflächenplanarisierung auf Photoresist-Wafern zu erreichen. Es verwendet einen zweiphasigen Prozess, der mit einem chemischen Ätzen beginnt, um die Oberflächenrauhigkeit der Photolackschichten zu verringern, gefolgt von einer physikalischen Politur, um die Photolackoberfläche zu ebnen. Das Werkzeug ist mit einer Plattenkonfiguration ausgestattet, die unterschiedliche Bandspannungen ermöglicht, um eine präzise Kontrolle über den Anpressdruck auf der Waferoberfläche zu gewährleisten. Die Feedback-Schleife auf dem Asset sorgt für eine einheitliche Polierquote über den gesamten Wafer für eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit. 1800-6AL verwaltet den CMP-Prozess über eine integrierte Steuerungskonsole. Es verfügt über ein automatisiertes Vorschubmodell zum Zuführen und Nachladen von Wafern bei Bedarf während der Verarbeitung, und es ist mit automatisierten Polierparametern ausgestattet, die leicht für verschiedene Arten von Photoresist-Wafern und gewünschte Prozesse eingestellt werden können. Das Gerät verfügt auch über ein integriertes Endpunktsteuerungssystem, das den Endpunkt des CMP-Prozesses überwacht und die Prozessparameter nach Bedarf anpasst. Das Gerät wurde speziell für den Einsatz mit Photolackscheiben bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt. Es ist sehr zuverlässig, einfach zu bedienen, und kommt mit einer Reihe von automatisierten Sicherheitsfunktionen wie Verriegelungen und Alarme, um den Bediener sowie die Ausrüstung zu schützen. Es ist eine kostengünstige Lösung für die Planarisierung von Photolackschichten auf Wafern, und seine gleichmäßige Oberfläche reduziert den Ertragsverlust und verbessert die Geräteleistung.