Gebraucht VERTEQ 1800-6AR #9328733 zu verkaufen
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VERTEQ 1800-6AR ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in mikroelektronischen Fertigungen. Es handelt sich um ein modulares, hochauflösendes einstufiges Photolacksystem, das auf einer Ausrichtungstabelle aus einem mechanischen Modul, einem Belichtungsmodul und einem beweglichen Tisch basiert. Die Einheit umfasst eine Ausrichttabelle, ein Schritt-/Scannermodul und ein Schritt-/Maskenausrichtmodul. Die Ausrichttabelle verfügt über eine zweiachsige (X, Y) verstellbare lineare Stufe und hat eine Genauigkeit von 1,4 µm. Das Schritt-/Scannermodul besteht aus einem motorisierten telezentrischen Vollblendenbeleuchter, einer automatischen Verstellfokusmaschine und einer motorisierten Waferstufe. Das Schritt-/Maskenausrichtmodul ermöglicht eine präzise Überlagerung der Maske auf den Wafer. Das Tool wird von einer fortschrittlichen Mikroprozessor-Steuereinheit angetrieben, die alle Aspekte des Belichtungsprozesses steuern kann, von Ausrichtungskontrollen bis zu Pixelgrößen und Belichtungszeit. Das Asset verfügt über eine eingebettete Dunkelkammer mit einem vollständigen Leistungssteuerungsmodell für Infrarot-Vorbelichtungs-, Nachbelichtungs- und Entwicklungsprozesse. Darüber hinaus verfügt die Anlage über einen integrierten Partikelzähler zur Messung der Sauberkeit des UV- oder I-Line-Arbeitsraums sowie eine Überwachung der Partikel-/Reinigungsaktivität. 1800-6AR bietet Auflösung bis zu 12 µm, mit Funktionsgrößen bis zu 2,0 Mikrometer. Das System bietet Tuning-Bandbreite (FW/BW) Abstimmung weniger als 20% auf alle unkritischen Funktionen, und hohe Auflösung auf kurze Funktionen. Das Gerät ist benutzerfreundlich und kann in automatisierten oder halbautomatischen Formaten betrieben werden, was einen effizienten Workflow ohne Kompromisse bei der Genauigkeit ermöglicht. VERTEQ 1800-6AR ist eine zuverlässige und leistungsstarke Photolackmaschine mit einer hervorragenden Erfolgsbilanz in mikroelektronischen Fertigungsanwendungen. Der Dynamikbereich, die hohe Auflösung, die benutzerfreundliche Schnittstelle und der integrierte Partikelzähler machen ihn zu einer guten Wahl für jedes Mikroelektronik-Labor und jede Produktionsumgebung.
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