Gebraucht VERTEQ DT 560M #124425 zu verkaufen
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ID: 124425
Resistivity monitors for VERTEQ 1800-6AL SRDs
Power requirements: 120V, 1-phase, 50/60Hz.
VERTEQ DT 560M ist eine präzise digitale transmissive Photolackausrüstung für fortschrittliche Photolithographieverfahren. Es wurde entwickelt, um hochauflösende Photolayouts zu ermöglichen, um unglaublich enge Eigenschaften und Dichten zu erreichen. Dieses System verfügt über ein einzigartig gestaltetes optisches Paket und ist ein drahtloses, computergesteuertes Tool, das eine erhöhte Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglicht. DT 560M verfügt über ein großes Sichtfeld mit einer Auflösung von bis zu 10 Mikrometern und eignet sich somit für eine Vielzahl von Präzisions-Photolithographieverfahren. Die bildgebende Einheit verfügt über einen langen Dynamikbereich, der eine hohe Quanteneffizienz und einen breiten Belichtungsspielraum bietet. Die Laserdiode bietet eine sehr präzise Beleuchtungssteuerung mit einer einstellbaren diffusen Halogenlichtquelle für Integrationswafer. VERTEQ DT 560M ist mit einer patentierten Lichtdosissteuereinheit ausgestattet, die hilft, die Belichtungszeit und Laserintensität jedes Prozesses genau und präzise abzustimmen. Die Maschine bietet auch eine Schnittstelle zur automatisierten Lichtbelichtungssteuerung. Dadurch kann der Maschinenbediener die Parameter des Belichtungsprozesses für eine gewünschte Ausgabe genau einstellen. DT 560M Tool bietet auch Präzisionsausrichtungsfunktionen mit einer benutzerfreundlichen, intuitiven grafischen Benutzeroberfläche. Das Asset bietet eine präzise 5-Achsen-Bewegungscodierung und die patentierte Auto-Align-Methode wurde entwickelt, um eine genaue Cross-Wafer-Ausrichtung zu erzielen. Dadurch wird sichergestellt, dass das Muster unabhängig von der Wafergröße korrekt ausgerichtet wird. Schließlich umfasst das Modell eine automatische Waferbearbeitungssoftware, die eine Optimierung des Photolackmusterprozesses ermöglicht. Damit ist VERTEQ DT 560M eine effiziente und zuverlässige Photolithographie-Ausrüstung für hochauflösende Photomasken mit sehr engen Toleranzen. Die Software ist auch für die einfache Fehlerbehebung konzipiert, sollten während des Betriebs Probleme auftreten.
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