Gebraucht VERTEQ Flurocarbon RD4500 Classic #9158713 zu verkaufen
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ID: 9158713
Spin rinse dryers (SRD), 4"
110 V, 60 Hz
Currently warehoused
1986 vintage.
VERTEQ Flurocarbon RD4500 Classic ist eine branchenführende Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Lithographieanwendungen. Das System ist in der Lage, hochgenaue und wiederholbare Ergebnisse mit minimaler Rüstzeit und Aufwand zu erzielen. Die robuste Bauweise und die einfach zu bedienende Steuerung sorgen für einen zuverlässigen Betrieb und einen wartungsarmen Betrieb. Die Maschine ist mit einer 8,2-Zoll-Bornitrid-Ätzkammer ausgestattet, die eine Vielzahl von Anwendungen wie lichtinduziertes Ätzen, Metallätzen und Tiefätzen verschiedener Materialien ermöglicht. Diese Ätzkammer verfügt über eine Turbopumpe mit einem Basisdruck von 15 Millibar zur Erzielung eines qualitativ hochwertigen Ätzens mit wiederholbaren Ergebnissen. Die Kammer ist außerdem mit einem digitalen Gaskastenregler und verschiedenen Fähigkeiten wie Luft, Sauerstoff, Stickstoff, Helium und Wasserstoff sowie einem umfassenden Sicherheitswerkzeug ausgestattet. Die Anlage ist so konzipiert, um eine breite Palette von Photoresist-Typen, wie positive und negative Photoresists. Dazu gehören Fotolack mit mittlerer Auflösung, der für die Verwendung mit mittelgroßen Mustern entwickelt wurde, und hochauflösender Fotolack für feinere Belichtungsdetails. Das Modell ist auch in der Lage, höhere Auflösung Arbeit zu erzielen, indem eine Linse auf die bildgebende Stufe. Das Gerät verfügt auch über eine komplette Suite von bildgebenden Funktionen. Es ist mit einer hochauflösenden Digitalkamera ausgestattet, so dass Forscher extrem detaillierte Bilder aufnehmen können. Darüber hinaus ist es in der Lage, transmissive oder reflektierende Bildgebung durchzuführen und bietet eine Vielzahl von Beleuchtungsquellen, einschließlich UV, LED und Breitband. Das System ist auch mit vielen der führenden computergestützten Design- (CAD) und Lithographie-Softwarepakete kompatibel und bietet eine automatisierte Werkzeugweggenerierung und effiziente Teilebearbeitung. Um maximale Produktivität zu gewährleisten, verfügt das Gerät über eine integrierte automatische Reinigungs-, Be- und Entlademaschine. Dieses Werkzeug wurde entwickelt, um die Zeit und den Aufwand zu reduzieren, die erforderlich sind, um die Kammer zu reinigen und Resist zwischen den Expositionen zu ersetzen. Das Asset bietet auch eine Selbstüberwachungsfunktion, die die Belichtungszeitgenauigkeit misst. Insgesamt ist Flurocarbon RD4500 Classic eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die zuverlässiges und präzises Photoresist-Modell suchen. Mit seinen umfassenden Fähigkeiten eignet sich das Gerät für eine Vielzahl von Lithographieanwendungen.
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