Gebraucht VERTEQ SC1600-3 #293592052 zu verkaufen
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VERTEQ SC1600-3 ist eine Fotoresistausrüstung, die üblicherweise für die Herstellung und Dünnschichtabscheidung optischer Komponenten verwendet wird. Es verfügt über ein hochmodernes optisches Projektionssystem mit hoher Leistung und Gleichmäßigkeit, um genaue und präzise Muster auf eine Vielzahl von Substraten anzuwenden. SC1600-3 Photoresist-Einheit umfasst einen hochauflösenden Scan-Querkopf und eine Präzisionsoptik sowie ein Softwarepaket, mit dem Benutzer komplexe Vektor- und Rasterdesigns bearbeiten können. Die Maschine liefert 1800 Watt Leistung mit dreistufigem Pulsatorwerkzeug, um eine gleichmäßige Verschiebung der Photolackschicht zu gewährleisten. Die oberste Schicht der Anlage ist eine Platte mit bis zu 8 linearen Abtastachsen, die einzeln gesteuert werden können. Das Wafer-Moving Model (WMS) sorgt auch bei großen Wafern für eine präzise Substratpositionierung. Es verfügt über einen integrierten Verschlussmechanismus und eine Kühlausrüstung, um Überhitzung zu verhindern. VERTEQ SC1600-3 verfügt über eine hochgenaue Stufenzuführung, die für mehrere Substrate mit einem Durchsatz von bis zu 450 um/s mit wiederholbarer Genauigkeit von 30 um verwendet werden kann. Es beinhaltet auch eine Schnell-Fokus-Optimierungsfunktion, mit der Benutzer die Projektionsoptik schnell anpassen können, um den optimalen Fokus zwischen den Belichtungen zu erreichen. Dank des verstellbaren Fotomaskenhalters und der motorisierten Lichtquelle können Anwender schnell und einfach zwischen verschiedenen Fotomasken wechseln. Darüber hinaus kann das System manuell oder automatisch über einen umfassenden Satz digitaler Prozesssteuerungsfunktionen sowie eine Reihe werkzeugspezifischer Funktionen wie Autofokus, Registrierung, Ausrichtung und Scannen bedient werden. SC1600-3 verfügt auch über eine breite Palette von Prozesssteuerungsfunktionen, so dass Benutzer ihre Prozesse für jeden Substrattyp und jedes Material anpassen können. Dazu gehören Reticle Loading, Photoresist Applikation, Belichtungssteuerung, Ausrichtungs- und Registrierungssteuerung, Ätzen und Entwicklung. Es unterstützt auch eine breite Palette von Resistmaterialien und Dicken für verschiedene Substrattypen, einschließlich Polyimid, Quarz und Indiumzinnoxid (ITO). Um die höchste Qualität der Endprodukte zu gewährleisten, umfasst VERTEQ SC1600-3 auch verschiedene Diagnose- und Überwachungsfunktionen wie Uniformitätsmapping, kritische Dimensionsanalyse und Transmission. Seine Software-Schnittstelle ermöglicht es Benutzern, maßgeschneiderte Rezepte zu programmieren und Berichte in Echtzeit zu erstellen. Insgesamt ist SC1600-3 das ideale Werkzeug für die hochpräzise, hochdichte Fotolackverarbeitung. Das robuste Design, die vielseitige digitale Prozesssteuerung und die schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeit machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung und Dünnschichtabscheidung optischer Komponenten.
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