Gebraucht VERTEQ ST600-41L #293597566 zu verkaufen
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VERTEQ ST600-41L Photoresist Equipment ist ein fortschrittliches System, das entwickelt wurde, um Fotoresist-Maskenmaterialien zu verarbeiten und zuverlässige Ergebnisse zu liefern. Diese Einheit besteht aus fortschrittlichen Lithographie-, Messtechnik- und Track-Werkzeugen und verfügt über einen Vakuum-Photoaligner, der zur Reduzierung von Defekten und zur Verbesserung der Erträge entwickelt wurde. ST600-41L Photoresist Machine ist ein fortschrittliches Werkzeug mit folgenden Eigenschaften: Multi-Layer Photoresist Processing: VERTEQ ST600-41L Asset kann bis zu vier Photoresist-Schichten gleichzeitig verarbeiten. Dies bedeutet, dass komplexe Strukturen und Merkmale einfach hergestellt werden können. Darüber hinaus kann das Modell sowohl dicke als auch dünne Filme verarbeiten, wodurch der Bedarf an zusätzlichen Dünnschichtprozessen reduziert wird. Sub-Micron-Auflösung: Das Gerät verfügt über eine branchenführende Auflösung von 0,2 Mikrometern und gewährleistet höchste Präzision bei der Photoresist-Verarbeitung. Mehrschichtige Strukturen mit Breiten und Höhen von 0,2 Mikrometern können mit diesem System einfach verarbeitet werden. Automated True Focus Metrology Unit: ST600-41L beinhaltet eine automatisierte True-Focus-Messtechnik-Maschine, die es Anwendern ermöglicht, den optischen Fokus von Mustern weiträumig genau zu messen. Dadurch werden Linienbreiten und Gleichmäßigkeit verbessert. In-Plane Stage Control: Die hochgenaue In-Plane Stage Control sorgt für eine konsistente Muster-Wiederholgenauigkeit (CD-Gleichmäßigkeit) über einen weiten Bereich. Dies reduziert den Bedarf an manueller Retusche. Integriertes Ozon- und UV-Belichtungswerkzeug: Die integrierte Ozon- und UV-Belichtungsanlage sorgt für optimale Konsistenz bei der Belichtung von Photolackschichten. Hochpräzise GY-Achse: Die hochpräzise GY-Achse bietet eine präzise Positionierung, wodurch Wafer-Level-Features einfach verarbeitet werden können. Diese Achse kann mithilfe von Auto-Shim-Anforderungen genau ausgerichtet werden. Roboterlader: Der Roboterlader ermöglicht dem Anwender das schnelle und genaue Ein- und Ausladen von Wafern aus dem Modell. Dies reduziert Übertragungsfehler und minimiert die Verarbeitungszeiten insgesamt. Prozessverfolgungssoftware: Die Prozessverfolgungssoftware ermöglicht es Benutzern, den Fortschritt der Verarbeitung eines Wafers konsequent zu verfolgen. Dadurch wird sichergestellt, dass das Endprodukt die Kundenanforderungen erfüllt. VERTEQ ST600-41L Photoresist Equipment ist ein fortschrittliches System mit leistungsstarken Funktionen, die eine zuverlässige Herstellung von Fotolackmasken mit verbesserten Erträgen ermöglichen. Die mehrschichtigen Verarbeitungsfunktionen, die Submikron-Auflösung und die automatisierte echte Fokus-Messtechnik ermöglichen die Herstellung komplexer Muster und Merkmale mit hoher Präzision. Darüber hinaus tragen die integrierte Ozon- und UV-Belichtungsmaschine, die hochpräzise GY-Achse, der Roboterlader und die Prozessverfolgungssoftware dazu bei, Prozesszeiten und Fehler zu reduzieren.
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