Gebraucht WERNER MATHIS LFT #9069946 zu verkaufen
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WERNER MATHIS LFT ist eine Art Photolacksystem, das in der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen verwendet wird. Es basiert auf einer Sandwichstruktur, die aus zwei Schichten besteht: einer negativen Photoresistschicht aus Benzotriazolpolymeren und einer säuresensibilisierten Schicht aus LFT (alias Latent Functional Thickness). Diese Kombination wirkt als Gatekeeper zwischen der darunterliegenden Photolackschicht und der Oberfläche des Wafers. Bei UV-Licht reagiert die säuresensibilisierte WERNER MATHIS LFT-Schicht und bildet einen viskosen Film, der als Maske für den nachfolgenden Photoresist wirkt. Beim Aufbringen von UV-Licht auf den Wafer durch die Photomaske können je nach Lichtintensität selektiv reaktive Bereiche der Photolackschicht belichtet oder bedeckt werden. Die Position der Photomaske wird dann so eingestellt, dass jede Geräteschicht auf dem Wafer ordnungsgemäß gemustert wird. Einmal einem Entwicklungs- und Einbrennprozess unterzogen, bildet der Polymerfotoresist auf der Oberfläche des Wafers eine dünne Schicht, die analog dem zuerst auf der lichtempfindlichen Schicht gebildeten Muster ist. Sobald der Photolack belichtet und ausgehärtet ist, bleibt eine dünne Schicht aus säuresensibilisiertem LFT zurück. Dies wirkt als schützendes „Gate“ zwischen dem Photolack und der Oberfläche des Wafers. Diese absolute Fahrlässigkeit gegenüber den darunterliegenden Schichten gewährleistet eine präzise Strukturierung der Geräteelemente. Infolgedessen hat dieses Photolacksystem in den unterschiedlichsten Branchen Anwendung gefunden, insbesondere in Bereichen, die mit der Herstellung von Halbleiterbauelementen zusammenhängen. Im Vergleich zu anderen Photolacksystemen bieten WERNER MATHIS LFT Systeme eine überlegene Auflösung und Robustheit. Die Verwendung spezifischer Kombinationen von LFT und Polymeren ermöglicht auch eine gute Haftung zwischen Photolack und Substrat. Darüber hinaus sind WERNER MATHIS LFT Photoresist-Systeme aufgrund der relativen Geschwindigkeit des Entwicklungsprozesses in der Lage, in kurzer Zeit hochvolumige Wafer-Chargen exakt zu strukturieren. Insgesamt sind LFT-Fotolacksysteme eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen zur Herstellung elektronischer Geräte. Die Kombination aus säuresensibilisierten WERNER MATHIS LFT und technisch fortschrittlichen Polymeren bietet eine hervorragende Auflösung, gute Haftung und einen schnellen Entwicklungsprozess - all dies macht es zu einem idealen Photolacksystem für eine Reihe von Branchen, die sich mit der Herstellung von mikroelektronischen Geräten befassen.
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