Gebraucht WERNER MATHIS VF 500 #9069956 zu verkaufen
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WERNER MATHIS VF 500 Photoresist Equipment ist ein automatisiertes hochpräzises Photoresist Panel Alignment System, das für die fortschrittliche Halbleiterherstellung von Mathis Werner, einem der weltweit führenden Gerätehersteller, entwickelt wurde. Diese spezifische Einheit wurde für Solarzellengeräte-Prozessanwendungen wie die in der Photovoltaik-Industrie optimiert. Die Maschine bietet einen hohen Automatisierungsgrad, indem sie aus einem integrierten, berührungslosen Panel-Erkennungswerkzeug und einem automatisierten Alignment-Asset in Verbindung mit einem präzisen halbautomatischen Vakuumübertragungsmodell besteht. Die Vakuumübertragungsausrüstung ermöglicht einen schnellen und zuverlässigen Transport von Substraten in die Position mit seinen Präzisionsausrichtungssensoren, die für die Handhabung schwierig zu übertragender Substrate konzipiert sind und eine branchenführende Ausrichtungsgenauigkeit bieten. Das Photoresist-Panel-System verwendet eine patentierte Flugzeit und einen Laserprozess, um Entfernungen in Nanometerinkrementen genau zu messen und Panels innerhalb von 1 -2 Mikrometern genau auszurichten. Diese hohe Genauigkeit überwindet die Ungenauigkeiten, die häufig mit manuellen Ausrichtungsmethoden erlebt werden. Die Einheit besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten, die einen Proberkopf, einen Rahmenbefestigungstransport, eine Steuereinheit und eine Trägerplattform mit einer Vielzahl von Sensoren und Aktoren einschließlich einer CCD-Kamera, Schrittmotoren, Servoantriebe, Sensoren, Tribometer, Kraftmessgerät, optischer Leistungsmesser usw. umfassen. Der Proberkopf hat zwei Waferhalter aus Keramik mit Saphirspitzen, die speziell für Wafer und Verpackungen bis zu 4 „und 8“ entwickelt wurden. Dieses Teil hat auch eine große Vakuumebene mit 90 individuell einstellbaren Sonden, die kleine Substrate exakt ausrichten und ausrichten können. Es enthält auch eine einzigartige Druckkontrollmaschine zur Aufrechterhaltung der Substrathöhe für eine genaue Registrierung. Die Rahmenbefestigungstransporteinheit sorgt für die notwendige Bewegungssteuerung für die Bewegung des Wafers. Es enthält lineare Encoder und Schritttreiber, die verwendet werden, um die Position und Geschwindigkeit des Substrats während des Transports dynamisch zu berechnen. Auf der Trägerplattform befinden sich die integrierten Sensoren und Aktoren inklusive CCD-Kamera und Laserdistanzmessgerät. Es gewährleistet eine präzise Platzierung des Substrats im Registrierungsbereich und ermöglicht eine schnelle und präzise Positionierung mit genauer Ausrichtung und Vorausrichtung. Insgesamt bietet VF 500 Photoresist Asset eine große Kombination aus hoher Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit für zahlreiche Anwendungen in der Photovoltaik-Industrie. Es bietet seinen Benutzern auch eine niedrige Betriebskosten durch sein vielseitiges Design, genaue Registrierung und robuste Kundenbetreuung.
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