Gebraucht YUASA SR-8040A #9375925 zu verkaufen

YUASA SR-8040A ist eine hochwertige, automatisierte Photoresist-Prozessausrüstung für die Halbleiterherstellung. Dieses Modell ist hochautomatisiert und kann über 15 Prozesse für bis zu 10 Wafer gleichzeitig abwickeln. YUASA SR-8040 A ist mit einem proprietären 5-stufigen Wärmesteuerungssystem zur überlegenen Substratheizung und -kühlung ausgestattet. Es verfügt außerdem über eine integrierte Prozessüberwachungseinheit, die eine präzisere Gleichmäßigkeit der Resistschicht ermöglicht. Das Gerät kann eine Vielzahl von Substraten bis zu 8 "in der Größe handhaben, und die Wafer-Ausrichtungsgenauigkeit liegt innerhalb von 2,5 µm. Die Maschine verfügt auch über eine hochintensive UV-Lampenquelle für die direkte Bildgebung. Die Lampenquelle ist mit einem quarzglasisolierten Austrittsfenster für verbesserte UV-Gleichmäßigkeit ausgelegt. SR-8040A bietet eine Vielzahl von Resistverarbeitungsfunktionen, einschließlich Maskierung, Vorbacken, Nachbacken, Exposition, Post-Exposure-Backen, Entwicklung, Backen, Ätz- und Messtechnik. Die Belichtungseinheit ist mit einer frequenzstabilisierten LED-Lichtquelle ausgestattet, die eine präzise Ausrichtung ermöglicht. Darüber hinaus bietet diese Maschine sowohl Hochgeschwindigkeits- als auch Niedergeschwindigkeits-Entwicklungs- und Ätzprozesse. Das Werkzeug ist mit reichlich Bestrahlungssteuerung ausgelegt, so dass Benutzer Dosis und Zeit genau steuern können. Der Kammerinnenraum ist mit einem Plasma-Reinigungsmechanismus zur Beseitigung von Verschmutzungen und zur Maximierung der Ausbeute ausgebildet. Die Touch-Panel-Benutzeroberfläche ermöglicht eine schnelle und genaue Prozesseinstellung. SR-8040 A verfügt auch über eine einzigartige Vakuum-Pre-Edge-Reinigungsfunktion. Dies ist insbesondere bei hochdichten Resist-Anwendungen nützlich, da dadurch unnötiger Resist über den Wafer entfernt wird und nur der vorgesehene Resist bleibt. Es weist außerdem einen Frontendfilter auf, um Verunreinigungen vor dem Eintritt in die Prozesskammer zu bewahren. Um YUASA- SR-8040A zu betreiben, müssen Benutzer strenge Sicherheitsverfahren befolgen. Richtiges Training ist entscheidend; Benutzer müssen vor dem Gebrauch mit den Spezifikationen und dem Sicherheitsprotokoll der Maschine vertraut sein. Eine ordnungsgemäße Wartung ist ebenfalls unerlässlich. Überprüfen Sie regelmäßig Leiterplatten und andere Komponenten, um sicherzustellen, dass sie ordnungsgemäß funktionieren. YUASA SR-8040 A bietet ein außergewöhnliches Maß an Photoresist-Prozesskontrolle für präzise Ergebnisse. Von Substraten bis zu 8 "bis zu intensivem UV-Licht für die direkte Bildgebung ist dieses Top-of-the-Line-Asset von wesentlicher Bedeutung für die Erzielung der höchsten Stufe der Schaltungsherstellung.