Gebraucht ZEISS A20 #9081688 zu verkaufen

ZEISS A20
Hersteller
ZEISS
Modell
A20
ID: 9081688
Weinlese: 2005
AR Coater system I Model thermal source Mark 11 Ion source (4) Sector plates 2005 vintage.
ZEISS A20 ist eine Photolackanlage, die im Lithographieverfahren eingesetzt wird. Dieses System ist ein wichtiges Werkzeug zur Erstellung von Mustern bei der Herstellung von Halbleitern, Displays und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). A20 verwendet eine patentierte Flüssigkeitsniveauanordnungstechnologie, um seine Optik auf das Zielsubstrat genau auszurichten. ZEISS A20 verfügt über eine hochpräzise vierachsige Bewegungsstufe, eine Masken- und Waferbühne sowie einen Scan- und Schrittmotor. Die vierachsige Bewegungsstufe sorgt für eine präzise Bewegung der Komponenten während des Lithographieprozesses. Die Scan- und Schrittmotoren bewegen die optischen Elemente auf der Bühne, um sie bezüglich des Substrats genau zu positionieren. Die Masken- und Waferstufen ermöglichen einen schnelleren Waferaustausch durch automatisierte Austauschmechanismen. A20 ist für hochauflösende Muster ausgelegt und verfügt über ein proprietäres optisches Design mit hoher numerischer Apertur (NA). Die berührungslose Laserausrichtmaschine führt zu einer genaueren Positionierung der optischen Komponenten im optischen Weg. Dies sorgt für linearere, fotodefinierbare Muster. ZEISS A20 beinhaltet eine komplette Software zur Automatisierung und Steuerung von Photolithographie-Prozessen. Dazu gehören automatisierte Rezepte und eine erweiterte Prozesssteuerung zur Ergebnisoptimierung. Die Software umfasst Algorithmen für OPC, Lithosimulationen und Prozessoptimierung. A20 nutzt auch Lichtquellen wie KrF, ArF und EUV-Lithographie. Das Werkzeug ist so gebaut, dass es mit Chemikalien, Photoresists und Ätzmitteln kompatibel ist, die üblicherweise in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. ZEISS A20 Photoresist Asset ist ein wesentliches Werkzeug für die Entwicklung fortschrittlicher Photolithographie-Technologien. Seine hochpräzisen Komponenten und automatisierten Funktionen machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen im Zusammenhang mit der Halbleiterherstellung. Durch seine kompakte Bauweise und hohe Leistung ist A20 eine kostengünstige Wahl, um genaue Musterergebnisse zu erzielen.
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