Gebraucht MKS / ASTEX FI20656-1 #293645389 zu verkaufen

Hersteller
MKS / ASTEX
Modell
FI20656-1
ID: 293645389
Remote Plasma Source (RPS) LAM P/N: 27-149580-00.
MKS/ASTEX FI20656-1 ist ein leistungsstarkes Netzteil für mehrere Anwendungen in der Halbleiterindustrie einschließlich Bestrahlungs- und Transmutationssystemen. Es ist in der Lage, bis zu 400V und 600A von einstellbaren DC-Leistung für Lasten bis zu 10 Kilowatt zur Verfügung zu stellen. Das einzigartige Design des MKS FI20656-1 ermöglicht eine präzise Ausgangssteuerung von Strom und Spannung über den gesamten Leistungsbereich und verfügt über einen großen Eingangsspannungsbereich von 90 bis 260 VAC. Es verfügt über einen eingebauten Temperaturregler, der seine Ausgangsspannung und seinen Strom basierend auf der Umgebungstemperatur einstellt, um eine konstante Leistungsabgabe bereitzustellen. ASTEX FI20656-1 wurde mit einem robusten, einfach zu bedienenden Steuerungssystem für den zuverlässigen Betrieb von Halbleiterprozessen entwickelt. Das einzigartige digitale Bedienfeld mit einem umfassenden Satz von Menüs und Tasten ermöglicht es Benutzern, die gewünschten Spannungen, Ströme, Energieeinstellungen und andere Betriebsparameter mit Leichtigkeit zu wählen. Die digitale Schnittstelle bietet auch eine Reihe von Schutzfunktionen, einschließlich Überspannungs- und Überstromschutz und Überwachung der Ausgangsleistung über LED-Anzeigen auf dem Frontplattendisplay. FI20656-1 verwendet auch proprietäre Technologie, um abgestrahlte und geleitete Geräusche zu minimieren und Lichtbogen zu verhindern, der in Hochleistungsversorgungen üblich ist. Seine fortschrittlichen elektronischen Komponenten verwenden EMI (Electro Magnetic Interference) -Unterdrückungstechnik, um Geräuschpegel niedrig zu halten, so dass es eine ideale Wahl für den Betrieb in lauten Bereichen. Das Gerät ist außerdem mit einem Sicherungssystem ausgestattet, das das Netzteil bei einer Überlastung abschaltet. In Bezug auf die Leistung bietet MKS/ASTEX FI20656-1 eine hervorragende Leistungsregelung und lineare Reaktion über den gesamten Leistungsbereich. Es verfügt über Präzisionsbelastung und Linienregelung von weniger als 1% und über Temperaturschutz von bis zu 100%. Die erweiterten Schutz- und Sicherheitsmerkmale sorgen zudem für einen sicheren Betrieb der Einheit und verlängern ihre Lebensdauer. Zusammenfassend ist MKS FI20656-1 ein fortschrittliches Netzteil für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Es verfügt über eine einfach zu bedienende digitale Schnittstelle, Präzisionsbelastung und Linienregelung und eine ausgezeichnete Geräuschunterdrückung. Die erweiterten Schutz- und Sicherheitsfunktionen sorgen zudem für einen sicheren Betrieb und verlängern die Lebensdauer des Geräts.
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