Gebraucht SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW #9351299 zu verkaufen

SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW
Hersteller
SEMITOOL
Modell
STI-15A-60V-4-AW
ID: 9351299
Pulse power supply P/N: 900C0329-01.
SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW Photoresist Equipment ist ein innovatives Werkzeug, das entwickelt wurde, um eine zuverlässige, spezialisierte und hochgenaue photonische Ätzlösung für die Herstellung von integrierten Schaltungen (IC) bereitzustellen. Dieses automatisierte System paart ein Hochspannungsnetzteil und ein softwaregesteuertes Ätzwerkzeug, die eine Reihe von verschiedenen Ätztechniken verwenden, um eine gleichmäßige dielektrische Schicht über einem Wafer jeder Größe mit der höchsten Genauigkeit und Wiederholbarkeit in der Industrie zu erzeugen. STI-15A-60V-4-AW Einheit verwendet eine Kombination aus fortschrittlicher Nassverarbeitung und Trockenätzen, um eine möglichst genaue Ätzung für jede Anwendung zu gewährleisten. Zunächst wird auf den Wafer ein chemisches Agglutinat aufgebracht, das die Haftung des Photoresistmaterials erleichtert. Der Wafer wird dann einer konstanten Hochspannung ausgesetzt, um photochemische Reaktionen im Photolackmaterial zu induzieren. Nachdem der Photolack der Spannung ausgesetzt ist, wird der Wafer mittels eines fortgeschrittenen Naßätzverfahrens bearbeitet, das auf ultrareine chemische Bäder angewiesen ist. Der Ätzprozess ist optimiert, um Unterschiede bei den Ätzraten aufgrund unterschiedlicher Wafergrößen zu berücksichtigen. Anschließend wird das Trockenätzen verwendet, um den Ätzprozess abzuschließen und die endgültige dielektrische Schicht zu erzeugen. Dieses trockene Ätzverfahren nutzt digitalisierte Version von intensivem Plasma, um das Dielektrikum schnell und intelligent mit einer Genauigkeit von bis zu einem Zehntel Mikron zu ätzen. Die engen Toleranzen zwischen Ätztiefe und gewünschter Dielektrizitätsdicke ermöglichen nahezu perfekte Produktionsabläufe. Schließlich wird die geätzte Oberfläche gereinigt und zur Weiterverarbeitung vorbereitet. Die Software, die das Verhalten von SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW Maschine steuert, bietet eine präzise Kontrolle über Parameter wie Ätzzeiten, Spannung und Temperatur sowie die Eingabe von Masken in das Werkzeug. Darüber hinaus helfen die integrierten Fehlerkorrekturalgorithmen, Probleme durch Fehlstellungen sowohl natürlich als auch durch menschliches Versagen zu reduzieren, und die intuitive und rationalisierte grafische Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Bedienung und effiziente Produktion. Insgesamt bietet STI-15A-60V-4-AW Photoresist Asset eine überlegene Präzision und wiederholbare Genauigkeit für die Herstellung von dielektrischen Schichten über unterschiedliche Größen von Wafersubstraten. Die Kombination aus Nassätzen und Trockenätzen ermöglicht eine bessere Kontrolle des Prozesses, und die integrierte Software und die grafische Benutzeroberfläche bieten den Komfort und die Flexibilität, die erforderlich sind, um einen erfolgreichen Produktionsablauf zu ermöglichen.
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