Gebraucht ACCRETECH / TSK APM-90A #9236077 zu verkaufen

ACCRETECH/TSK APM-90A prober ist ein vielseitiges und hochgenaues Sondierungsgerät, das in der Front-End-Halbleiter- und Optoelektronik-Industrie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um schnelle und präzise Messungen kleiner Geräteeigenschaften zu ermöglichen und den Ausrichtungsprozess von Präzisionswafer-Komponenten zu steuern. Das System basiert auf einer Reihe von leichten Aluminiumbasen, die bis zu 7 Achsen aufnehmen, darunter eine unabhängig angetriebene x-y- θ (θ ist die Winkelposition) -Stufe, zwei Fokusstufen, eine ASU (eine automatisierte Bühneneinheit) und zwei Kontaktsonden. Jede Stufe hat einen Bereich von +/- 8,8 mm, eine maximale Geschwindigkeit von 10 mm/s, einen Kraftbereich von 0-2,3 N und eine Schrittweite von 0,01 µm. Es ist in der Lage, präzise Ausrichtung und Messung von Sonden bis zu 50 µm, ermöglicht automatisierte Analysen von Parametern wie Gerätetiefe, Breite, Winkel und Epitaxie. Der Prober verwendet einen optischen Tisch von 1600 mm x 1250 mm, um eine stabile Plattform für eine präzise Ausrichtung und einen verzerrungsarmen Betrieb zu bieten. Es enthält auch vier Digitalkameras für die In-Plane-Wafer-Ausrichtung und vier Encoder für die Positionsrückkopplung während des Sondierungsprozesses. Die Regler sind in der Lage, bis zu sechs unabhängige Motoren zu steuern, die Vibrationsgeräusche bei der Ausrichtung und Sondierung reduzieren sollen. Der Prober ist in eine automatisierte Wafer-Handler-Einheit integriert, die zur Fehlerreduzierung und zur Beseitigung der manuellen Bedienung konzipiert ist. Die Maschine kann den Wafer bis zu 45mm in x-, y- und θ-Richtung bewegen und gleichzeitig den Vibrationseffekt minimieren, der sich ansonsten auf die Testdaten auswirken könnte. Der Prober beinhaltet auch eine integrierte Lasertiefensteuerung, die für die individuelle Geräteprüfung konfigurierbar ist und für eine Messgenauigkeit von 10nm sorgt. Der Prober umfasst auch eine 6-Achsen-Bewegungssteuerung, die bis zu 12 Kontaktsonden für verschiedene Messungen steuern kann. Schließlich ist der Prober mit einer Reihe realistischer Testbedingungen konzipiert, um reale Produktionsumgebungen zu simulieren und Qualitätsleistung zu gewährleisten.