Gebraucht ACCRETECH / TSK APM-90V #9314145 zu verkaufen
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ID: 9314145
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1996
Probe station, 4"-8"
Hot chuck
Vacuum chuck: Nickel plated
Needle polish: Circle
No SACC
CPU Type: MVME 147S-1
Overall accuracy: Within 5 um
Fine alignment: CCD ITV Image processing
Hard disk: 3.5" 2HD (1.4M)
Display: 10.4" TFT Color LCD
X/Y-Axis:
Probing area: ±120 mm
Maximum speed: 200 mm/s
Z-Axis:
Full stroke: 34 mm
Maximum speed: 35 ms / 0.5mm Stroke
Θ-axis:
Rotation range: ±5°
Loader:
Casette mounts: 1 (Right single top)
Wafer Handing: Robot arm / Backside holding
Air supply:
Source pressure: 0.4 Mpa
Consumption: Approximately 0.1 liters / wafer
Vacuum supply: Less than -50 kPA , 30 l/min
Power consumption: AC 100V ± 10V, 50/60Hz, 1.5 kVA
Slot no / Board number / Board name
Slot 1 / MVME162 / Main CPU
Slot 2 / AVME-240 / Memory Board 128M
Slot 3 / - / EtherNet
Slot 4 / - / -
Slot 5 / TVME-322 FDC / SCSI / -
Slot 6 / - / -
Slot 7 / ITV / COGNEX4200
Slot 8 / FA0071A / Parallel In Out (PIO)
Slot 9 / FA0022C / XY Coordinater
Slot 10 / FA0037C / Sub - TTL / GPIB
Slot 11 / FA0139A / 5 Channels PGEN
Slot 12 / FA0132B / VGAC
Slot 13 / - / -
Slot 14 / FA0111 / CAP Sensor
Slot 15 / - / -
Slot 16 / AVME-115 / SLAVE CPU
Slot 17 / FA0013A / LD IO (Loader In Out)
Slot 18 / FA0014B / LD PGEN
1996 vintage.
ACCRETECH/TSK APM-90V ist ein Prober zur Durchführung von Wafertests, Messungen und Sondierungen. Es eignet sich für Wafer bis 200 mm Durchmesser und ist in der Lage, über 200 Wafertypen zu handhaben. Der prober hat eine Hochgeschwindigkeitsoblatenberührenausrüstung, mit einem Balkenschieben, Mehrzonen- und Mehrzonenvakuumchuck. Das Spannfutter verfügt über ein statisch-dynamisches Kombinationsdesign und bietet eine effiziente und zuverlässige Waferhaltung. Die integrierte thermische Steuerung sorgt für genaue Temperatur und Wiederholbarkeit während der Sondierung. Der Prober ist mit einer integrierten Vision-Inspektionseinheit ausgestattet, die Stempelmuster identifizieren und einen geeigneten Sondierungsweg für den gemessenen Wafer entwickeln kann. Es verfügt über eine aktive Bildverarbeitungsmaschine, die Daten schnell analysieren kann und schnellere Testzeiten mit höherer Präzision ermöglicht. TSK APM-90V ist auch mit automatischem und manuellem (Joystick) Modus ausgestattet. Im manuellen Modus können Benutzer mit einem Joystick den Prüfkopf in vorprogrammierte Positionen bewegen und Kalibrierung, Sondierung, Messung und Prägung durchführen. Im Automatikmodus können Benutzer die Bewegungen des Testkopfes programmieren, um den Testvorgang automatisch zu optimieren. Der Prober verfügt über fortschrittliche Rezepte, mit denen Benutzer verschiedene Tests nach ihren spezifischen Anforderungen parametrieren können. Es hat auch ein integriertes Fehlererkennungswerkzeug, das defekte Elemente schnell identifizieren kann. Die Datenerfassungs- und Analysefähigkeit wird durch ein eingebettetes Microsoft Windows-Betriebsmittel und ein umfassendes Softwareprogramm verbessert. ACCRETECH APM-90V verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche und verfügt über eine Reihe von Schnittstellen für den Anschluss an andere Geräte und Peripheriegeräte. Dazu gehören eine grafische Benutzeroberfläche, eine Ethernet/RS232 Schnittstelle und ein USB-Anschluss. Der Prober verfügt auch über einen modularen Aufbau, so dass Benutzer ihn nach Bedarf mit zusätzlichen Komponenten anpassen oder aktualisieren können.
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